基于阿贝补偿原理的光栅电感组合轮廓测量系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-13页 |
| ·研究目的和意义 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-11页 |
| ·本文的主要研究内容及特点 | 第11-13页 |
| 第2章 组合轮廓测量系统原理与结构 | 第13-22页 |
| ·系统整体原理与结构 | 第13-14页 |
| ·传感器测头结构 | 第14-16页 |
| ·杠杆式测头 | 第14-15页 |
| ·片簧结构式测头 | 第15-16页 |
| ·光栅测量子系统 | 第16-19页 |
| ·角度测量子系统 | 第19-20页 |
| ·传感器测头驱动 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 传感测量子系统硬件电路的设计与实现 | 第22-42页 |
| ·传感测量子系统硬件电路总体设计方案 | 第22页 |
| ·基于电阻链细分的光栅信号硬件处理电路 | 第22-32页 |
| ·光栅条纹接收方法 | 第23-24页 |
| ·电阻链设计 | 第24-28页 |
| ·三极管导通式形成方法 | 第28-29页 |
| ·基于GAL16V8 的正交细分信号 | 第29-31页 |
| ·FPGA 硬件细分与计数方法 | 第31-32页 |
| ·电感传感器硬件电路设计与实现 | 第32-35页 |
| ·方波信号电路设计 | 第33页 |
| ·正弦激励信号的获取 | 第33-34页 |
| ·电感传感器信号调制 | 第34-35页 |
| ·恒光程自准直角度测量原理及实现 | 第35-40页 |
| ·光斑位置的四象限接收方法 | 第36-37页 |
| ·光电转换电路 | 第37-39页 |
| ·背景光强信号消除电路 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 系统标定与实验结果分析 | 第42-55页 |
| ·传感系统的标定与实验结果分析 | 第42-49页 |
| ·光栅传感器的标定与实验结果分析 | 第42-44页 |
| ·电感传感器的标定与实验结果分析 | 第44-46页 |
| ·角度传感器的标定与实验结果分析 | 第46-49页 |
| ·系统测量方法与阿贝补偿 | 第49-51页 |
| ·系统的测量方法 | 第49页 |
| ·系统阿贝误差补偿方法 | 第49-51页 |
| ·实验数据与误差分析 | 第51-53页 |
| ·实验数据分析 | 第51-52页 |
| ·误差分析 | 第52-53页 |
| ·系统的进一步标定与完善 | 第53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第5章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表学术论文 | 第61-62页 |
| 附录 2 课题实物图照片 | 第62-63页 |
| 附录 3 本课题部分电路原理图 | 第63-65页 |
| 附录 4 本课题部分程序清单 | 第65页 |
