基体偏压对GLC镀层微观结构及性能的影响
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1. 绪论 | 第8-22页 |
| ·碳膜的发展和现状 | 第8-10页 |
| ·类石墨镀层 | 第10-13页 |
| ·类石墨镀层和类金刚石镀层的比较 | 第10页 |
| ·碳膜的价键结构 | 第10-12页 |
| ·类石墨镀层发展、性能及应用 | 第12-13页 |
| ·偏压对磁控溅射离子镀镀层的影响 | 第13-17页 |
| ·闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备简介 | 第13-15页 |
| ·偏压对镀层微观结构及性能的影响 | 第15-17页 |
| ·碳膜的硬度机制 | 第17-20页 |
| ·碳膜的硬度机制 | 第17-19页 |
| ·镀层硬度的检测方法 | 第19-20页 |
| ·本课题研究目的及主要内容 | 第20-22页 |
| 2 GLC镀层的制备及工艺 | 第22-28页 |
| ·镀层沉积设备及工艺 | 第22-23页 |
| ·镀层沉积设备 | 第22页 |
| ·GLC镀层沉积 | 第22-23页 |
| ·试样准备 | 第23页 |
| ·试验检测方法 | 第23-28页 |
| ·表面形貌 | 第23-24页 |
| ·镀层性能测试 | 第24-25页 |
| ·镀层相结构分析 | 第25页 |
| ·价键结构检测 | 第25-26页 |
| ·盐雾实验 | 第26-27页 |
| ·应力退火实验 | 第27-28页 |
| 3. 不同偏压下 GLC镀层微观结构及性能分析 | 第28-46页 |
| ·偏压对 GLC镀层形貌的影响 | 第28-33页 |
| ·表面形貌分析 | 第28-31页 |
| ·偏压对 GLC镀层断口形貌的影响 | 第31-33页 |
| ·偏压对 GLC镀层厚度及沉积速率的影响 | 第33-34页 |
| ·偏压对相结构的影响 | 第34-35页 |
| ·偏压对 GLC镀层气体含量的影响 | 第35-37页 |
| ·偏压对价键结构的影响 | 第37-39页 |
| ·偏压对导电性能的影响 | 第39-41页 |
| ·偏压对摩擦性能的影响 | 第41-44页 |
| ·偏压对镀层内应力的影响 | 第44-46页 |
| 4. GLC镀层硬度机理的讨论 | 第46-54页 |
| ·GLC镀层碳键结构对硬度的影响 | 第46-47页 |
| ·GLC镀层应力对硬度的影响 | 第47-49页 |
| ·GLC镀层组织结构对硬度的影响 | 第49-54页 |
| ·镀层微观结构对硬度的影响 | 第49-50页 |
| ·镀层致密性对硬度的影响 | 第50-54页 |
| 5. 结论 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第61页 |
