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磁控溅射CrN、CrTiAlN、GLC镀层摩擦磨损性能研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
1 绪论第8-20页
   ·摩擦镀层的发展第8-10页
     ·硬质耐磨镀层第8-9页
     ·减摩耐磨镀层第9-10页
   ·镀层摩擦磨损机制第10-14页
     ·摩擦接触机制第10-11页
     ·磨损机制第11-14页
   ·影响镀层摩擦磨损性能的主要因素第14-17页
     ·摩擦条件的影响第14-15页
     ·镀层特性的影响第15-17页
   ·闭合场非平衡磁控溅射离子镀(CFUMSIP)技术简介第17-19页
   ·本课题研究的目的和意义第19页
   ·本课题研究的内容第19-20页
2 实验方法第20-30页
   ·实验材料第20-21页
     ·实验基材第20页
     ·摩擦副材料第20-21页
   ·镀层制备第21-24页
     ·CrN镀层的沉积第22-23页
     ·CrTnAlN镀层的沉积第23-24页
     ·GLC镀层的沉积第24页
   ·镀层基本性能检测第24-28页
     ·镀层厚度第25页
     ·镀层硬度第25页
     ·镀层表面粗糙度(Ra)第25-26页
     ·镀层结合强度第26-28页
   ·镀层的摩擦磨损性能检测第28-29页
   ·镀层热稳定性能检测第29页
   ·镀层组织结构检测第29-30页
     ·扫面电子显微镜(SEM)检测第29页
     ·X-射线衍射检测第29页
     ·透射电子显微镜检测第29-30页
3 三种镀层基本性能第30-40页
   ·镀层的表面形貌与表面粗糙度第30-32页
   ·膜基结合强度第32-37页
     ·压入法第32-33页
     ·划痕法第33-37页
   ·热稳定性第37-40页
4 三种镀层的摩擦磨损性能第40-64页
   ·与钢对磨的摩擦磨损性能第40-56页
     ·载荷对镀层摩擦磨损性能的影响第40-53页
     ·三种镀层摩擦磨损性能比较第53-56页
   ·与有色金属对磨的摩擦磨损性能第56-64页
     ·与Al对磨的摩擦磨损性能第56-59页
     ·与Cu对磨的摩擦磨损性能第59-62页
     ·小结第62-64页
5 结论第64-66页
致谢第66-68页
参考文献第68-72页
附录第72页

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