| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·论文研究背景 | 第14-17页 |
| ·气体挤压膜轴承研究状况 | 第15-16页 |
| ·气体挤压膜轴承驱动及其控制 | 第16-17页 |
| ·论文的研究方法和内容安排 | 第17-19页 |
| 第二章 压电驱动技术 | 第19-24页 |
| ·压电效应 | 第19-20页 |
| ·压电陶瓷的振动模式 | 第20-21页 |
| ·压电方程与边界条件 | 第21-22页 |
| ·压电振子的谐振特性 | 第22-23页 |
| ·驱动压电波形的选择 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 超声挤压膜悬浮导轨的设计与分析 | 第24-43页 |
| ·挤压膜理论 | 第24-27页 |
| ·挤压作用 | 第24页 |
| ·气体挤压膜基本方程 | 第24-25页 |
| ·直角坐标 Reynolds 方程 | 第25-26页 |
| ·柱坐标 Reynolds 方程 | 第26页 |
| ·挤压膜模型 | 第26-27页 |
| ·挤压膜直线导轨 | 第27-28页 |
| ·挤压膜直线导轨的数学模型 | 第28-33页 |
| ·气体挤压膜直线导轨的控制方程 | 第29-30页 |
| ·气体挤压膜模型的数值解法 | 第30-31页 |
| ·气膜特性计算分析 | 第31-33页 |
| ·气体挤压膜直线导轨的有限元仿真分析 | 第33-42页 |
| ·有限元法分析耦合问题的数理基础 | 第33-34页 |
| ·压电陶瓷的耦合仿真 | 第34-36页 |
| ·挤压膜导轨的 ANSYS 模拟 | 第36-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 数字控制器设计 | 第43-62页 |
| ·整体方案设计 | 第43-44页 |
| ·控制器硬件设计 | 第44-58页 |
| ·数字控制器核心芯片选择 | 第44页 |
| ·STC12C5410AD 芯片的性能介绍 | 第44-45页 |
| ·STC12C5410AD 芯片的外围电路设计 | 第45-47页 |
| ·信号发生电路设计 | 第47-49页 |
| ·自动增益放大电路 | 第49-52页 |
| ·低通滤波器设计 | 第52-55页 |
| ·通信模块设计 | 第55-56页 |
| ·电源模块设计 | 第56-57页 |
| ·印刷电路板设计注意事项 | 第57-58页 |
| ·控制器软件设计 | 第58-60页 |
| ·PID 控制器 | 第58-59页 |
| ·不完全微分 PID 控制器 | 第59-60页 |
| ·主程序流程 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 气体挤压膜直线导轨的实验研究 | 第62-69页 |
| ·直线导轨的制备 | 第62-64页 |
| ·弹性铰链滑块的制备 | 第62-64页 |
| ·轨道及支承底座的制作 | 第64页 |
| ·实验仪器与设备的选择 | 第64-65页 |
| ·信号源的选择 | 第64-65页 |
| ·位移传感器的选择 | 第65页 |
| ·气体挤压膜导轨悬浮实验设计 | 第65-68页 |
| ·悬浮实验台 | 第65-66页 |
| ·弹性铰链上部分悬浮实验 | 第66-67页 |
| ·滑块悬浮实验 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 基于超声变幅杆的气体挤压膜直线导轨设计和实验研究 | 第69-78页 |
| ·超声变幅杆型直线导轨的设计 | 第69-70页 |
| ·研究背景 | 第69页 |
| ·设计方案的确定 | 第69-70页 |
| ·压电堆的粘贴 | 第70页 |
| ·超声变幅杆的设计与制作 | 第70-72页 |
| ·纯圆锥形变幅杆 | 第71页 |
| ·小端面后接平滑小圆柱体变幅杆 | 第71-72页 |
| ·激振盘的制作 | 第72页 |
| ·实验研究 | 第72-77页 |
| ·激振盘振幅测量 | 第72-73页 |
| ·减摩实验 | 第73页 |
| ·膜厚测量 | 第73-76页 |
| ·导轨承载能力实验 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第七章 总结与展望 | 第78-79页 |
| ·主要工作和结论 | 第78页 |
| ·进一步的展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第83页 |