| 第一章 引言 | 第1-10页 |
| ·陶瓷烧结体氧传感器 | 第7页 |
| ·厚膜型氧传感器 | 第7-8页 |
| ·薄膜型氧传感器 | 第8-10页 |
| 第二章 理论基础 | 第10-16页 |
| ·TiO_2气敏特性原理 | 第10-12页 |
| ·溶胶凝胶法制备纳米TiO_2薄膜 | 第12-15页 |
| ·溶胶溶液组成的影响 | 第12-14页 |
| ·载体的选择 | 第14页 |
| ·涂覆方式的影响 | 第14页 |
| ·焙烧温度的影响 | 第14-15页 |
| ·制定的实验方案 | 第15-16页 |
| 第三章 实验 | 第16-21页 |
| ·实验药品 | 第16页 |
| ·实验仪器 | 第16页 |
| ·样品制备 | 第16-19页 |
| ·电极的制作 | 第19页 |
| ·薄膜的测试 | 第19-21页 |
| 第四章 结果与测试 | 第21-35页 |
| ·XRD测试 | 第21-24页 |
| ·氧气敏感特性和阻温测试 | 第24-32页 |
| ·测试原理 | 第24-25页 |
| ·氧敏特性测试结果和分析 | 第25-30页 |
| ·阻温特性测试结果和分析 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| ·紫外吸收测试 | 第32-35页 |
| ·吸收原理 | 第32-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第五章 结论 | 第35-36页 |
| 参考文献 | 第36-38页 |
| 致谢 | 第38页 |