| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-13页 |
| ·课题研究背景——微纳机电系统简介 | 第8-11页 |
| ·本课题主要工作及内容安排 | 第11页 |
| ·课题国内外进展情况 | 第11-13页 |
| 第二章 吸附~解吸附理论 | 第13-26页 |
| ·固体表面特性 | 第13页 |
| ·吸附的本质——吸附力理论和固体表面的力场分布 | 第13-17页 |
| ·两个原子之间的作用力与势能 | 第14-16页 |
| ·吸附原子势能的计算 | 第16-17页 |
| ·吸附动力学 | 第17-19页 |
| ·吸附平衡理论和平衡吸附量的计算 | 第19-25页 |
| ·Langmuir 单层吸附理论 | 第20-23页 |
| ·BET 多层吸附理论 | 第23-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 第三章 振动理论 | 第26-36页 |
| ·简谐振动 | 第26页 |
| ·单自由度系统的自由振动 | 第26-29页 |
| ·无阻尼自由振动 | 第26-27页 |
| ·有粘性阻尼的自由振动 | 第27-29页 |
| ·单自由度系统的强迫振动 | 第29-32页 |
| ·谐振梁振动理论 | 第32-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第四章 NEMS 中气体吸附问题对器件谐振频率的影响 | 第36-50页 |
| ·理论推导过程 | 第36-39页 |
| ·吸附理论公式 | 第36-37页 |
| ·双端固支梁的谐振频率及微小质量改变对谐振频率的影响 | 第37-38页 |
| ·三种吸附理论所得到的Δm 对Δf 的影响 | 第38-39页 |
| ·数值仿真及讨论 | 第39-49页 |
| ·温度恒定时气体压强的影响 | 第40-44页 |
| ·BET 多层吸附理论中常数c 的影响 | 第44-46页 |
| ·压强恒定时温度的影响 | 第46-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 第五章 NEMS 中气体吸附问题相关品质因数Q_(surfac)的计算及其对器件品质因数Q 的影响 | 第50-58页 |
| ·气体吸附相关品质因数Q_(surfac)的计算 | 第50-54页 |
| ·吸附问题中的等效杨氏模量及品质因数Q 的计算方法 | 第51-52页 |
| ·表面吸附层厚度δ的计算及最终品质因数Q 值的表达式 | 第52-54页 |
| ·吸附问题对器件品质因数的影响 | 第54-55页 |
| ·等效阻尼系数的求解 | 第55-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第六章 气体吸附~解吸附过程的噪声影响 | 第58-61页 |
| 第七章 结束语 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61页 |
| ·本课题的后续课题研究方向建议 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-66页 |
| 致 谢 | 第66页 |
