| 提要 | 第1-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-19页 |
| ·ZnO 材料的基本性质 | 第9-11页 |
| ·ZnO 材料的研究进展 | 第11-18页 |
| ·p 型ZnO 的研究进展 | 第11-16页 |
| ·锂氮共掺ZnO 的研究进展 | 第16-17页 |
| ·锂氮共掺p 型ZnO 研究中存在的问题 | 第17-18页 |
| ·论文的选题依据和研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 样品制备技术和表征方法 | 第19-27页 |
| ·锂氮共掺ZnO 薄膜的制备技术 | 第19-21页 |
| ·磁控溅射技术 | 第19-20页 |
| ·真空退火设备 | 第20-21页 |
| ·锂氮共掺ZnO 薄膜的表征手段 | 第21-27页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第21-22页 |
| ·二次离子质谱仪(SIMS) | 第22-23页 |
| ·霍耳效应(Hall effect)测量 | 第23-24页 |
| ·微区光致发光谱(PL) | 第24-25页 |
| ·透射和吸收光谱(Transmission and absorption spectra) | 第25-27页 |
| 第三章 锂氮共掺p 型ZnO 的制备和表征 | 第27-38页 |
| ·样品的制备 | 第28页 |
| ·靶材的制备 | 第28页 |
| ·锂氮共掺p 型氧化锌薄膜的制备 | 第28页 |
| ·锂氮共掺ZnO 薄膜的表征 | 第28-30页 |
| ·锂氮共掺ZnO 薄膜的结构表征 | 第28-30页 |
| ·锂氮共掺ZnO 薄膜的组分的研究 | 第30页 |
| ·锂氮共掺ZnO 薄膜的电学性质的分析 | 第30-31页 |
| ·锂氮共掺ZnO 薄膜的光学性质的分析 | 第31-34页 |
| ·低温光致发光谱分析 | 第31-32页 |
| ·变温光致发光谱分析 | 第32-34页 |
| ·锂氮共掺氧化锌薄膜p 型生长过程及机制分析 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 氮在锂氮共掺p 型ZnO 中的作用 | 第38-47页 |
| ·样品的制备 | 第38页 |
| ·掺杂对样品结构的影响 | 第38-40页 |
| ·掺杂对样品电学性质的影响 | 第40-42页 |
| ·掺杂对样品光学性质的影响 | 第42-45页 |
| ·不同掺杂样品的低温光致发光谱分析 | 第42-44页 |
| ·不同掺杂样品的吸收光谱分析 | 第44-45页 |
| ·N 在锂氮共掺p 型氧化锌中的作用 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 结论 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-53页 |
| 发表的学术论文 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 摘要 | 第55-58页 |
| Abstract | 第58-60页 |
| 导师及作者简介 | 第60页 |