| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 符号对照表 | 第12-13页 |
| 缩略语对照表 | 第13-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-21页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第17页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3 论文研究内容与贡献 | 第18-19页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第19-21页 |
| 第二章 电容式微加速度计概述及系统架构 | 第21-29页 |
| 2.1 电容式微加速度计概述 | 第21-24页 |
| 2.1.1 电容式微加速度计工作原理 | 第21-22页 |
| 2.1.2 电容式微加速度计数学分析 | 第22-24页 |
| 2.2 电容式微加速度传感器接口电路微小电容信号检测方案选择 | 第24-27页 |
| 2.2.1 电容/频率(C/f)法 | 第24-25页 |
| 2.2.2 电容电桥法 | 第25页 |
| 2.2.3 电荷放大法 | 第25-26页 |
| 2.2.4 开关电容电荷放大法 | 第26-27页 |
| 2.3 电容式微加速度传感器接口电路系统设计 | 第27-28页 |
| 2.3.1 接口电路前端设计考虑 | 第27页 |
| 2.3.2 接口电路后端设计考虑 | 第27-28页 |
| 2.3.3 闭环微加速度传感器接口检测电路系统架构方案 | 第28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 系统非理想因素分析 | 第29-37页 |
| 3.1 积分器非理想因素 | 第29-31页 |
| 3.1.1 运放有限直流增益 | 第29-30页 |
| 3.1.2 运放有限摆率和带宽 | 第30-31页 |
| 3.1.3 运放热噪声 | 第31页 |
| 3.2 开关非理想性 | 第31-32页 |
| 3.3 时钟抖动 | 第32-33页 |
| 3.4 采样开关热噪声 | 第33页 |
| 3.5 二阶Σ-Δ调制器Simulink建模 | 第33-36页 |
| 3.5.1 理想二阶Σ-Δ调制器Simulink建模 | 第33-34页 |
| 3.5.2 非理想的二阶Σ-Δ调制器Simulink建模 | 第34-36页 |
| 3.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 电容式微加速度传感器接口电路前端设计 | 第37-65页 |
| 4.1 前端检测电路的整体设计方案 | 第37-43页 |
| 4.1.1 前置放大电路研究设计 | 第37-41页 |
| 4.1.2 信号调制电路研究分析 | 第41-43页 |
| 4.1.3 整体前端电路的实现 | 第43页 |
| 4.2 前置放大电路具体设计实现 | 第43-57页 |
| 4.2.1 运算放大器电路性能指标的介绍 | 第43-44页 |
| 4.2.2 运算放大器的参数指标设计 | 第44-45页 |
| 4.2.3 几种常见的运算放大器分析 | 第45-49页 |
| 4.2.4 本设计中运算放大器的具体实现 | 第49-55页 |
| 4.2.5 增益提高共源共栅运算放大器整体仿真结果 | 第55-57页 |
| 4.3 开关电容传感器接口电路具体实现 | 第57-62页 |
| 4.3.1 CMOS互补开关 | 第57-58页 |
| 4.3.2 两相不交叠时钟的产生和仿真结果 | 第58-61页 |
| 4.3.3 电容式微加速度传感器接口电路前端分时工作及仿真 | 第61-62页 |
| 4.4 开关电容传感器接口电路仿真结果 | 第62-64页 |
| 4.4.1 电容式传感器C/V转换电路的仿真结果 | 第62-63页 |
| 4.4.2 最终的电容式传感器接口电路前端仿真结果： | 第63-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 Sigma-DeltaADC设计仿真 | 第65-99页 |
| 5.1 Sigma-DeltaADC的原理 | 第65-71页 |
| 5.1.1 Σ-ΔADC概述 | 第65-66页 |
| 5.1.2 Σ-ΔADC原理 | 第66-69页 |
| 5.1.3 Σ-Δ调制器结构及原理 | 第69-71页 |
| 5.1.4 数字降采样滤波器 | 第71页 |
| 5.2 Σ-Δ调制器的设计 | 第71-87页 |
| 5.2.1 Σ-Δ调制器系统架构 | 第71-76页 |
| 5.2.2 开关电容积分器 | 第76-84页 |
| 5.2.3 量化器 | 第84-86页 |
| 5.2.4 Σ-Δ调制器全差分电路结构 | 第86-87页 |
| 5.3 Delta-Sigma调制器分模块电路仿真结果 | 第87-93页 |
| 5.3.1 积分器 | 第87-92页 |
| 5.3.2 自举开关 | 第92页 |
| 5.3.3 比较器 | 第92-93页 |
| 5.4 Σ-Δ调制器系统仿真 | 第93-96页 |
| 5.4.1 不同输入信号下的输出结果 | 第93-95页 |
| 5.4.2 本设计实现调制器与已有设计对比 | 第95-96页 |
| 5.5 数字降采样滤波器的设计和仿真 | 第96-98页 |
| 5.5.1 本文抽取滤波器的结构 | 第96-98页 |
| 5.6 本章小结 | 第98-99页 |
| 第六章 系统仿真和版图设计 | 第99-107页 |
| 6.1 微加速度传感器接口检测电路系统前仿真结果 | 第99页 |
| 6.2 模拟版图设计考虑 | 第99-104页 |
| 6.2.1 器件匹配 | 第100-102页 |
| 6.2.2 版图低噪声设计 | 第102页 |
| 6.2.3 微加速度传感器接口检测电路整体版图 | 第102-104页 |
| 6.3 微加速度传感器接口检测电路后仿结果 | 第104-106页 |
| 6.4 本章小结 | 第106-107页 |
| 第七章 总结与展望 | 第107-109页 |
| 7.1 本文工作总结 | 第107-108页 |
| 7.2 未来工作展望 | 第108-109页 |
| 参考文献 | 第109-113页 |
| 致谢 | 第113-115页 |
| 作者简介 | 第115-117页 |
