| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 引言 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 紫外探测器的研究进展 | 第11-13页 |
| 1.3 论文的研究内容及框架结构 | 第13-15页 |
| 第2章 光电探测器的原理与特性参数 | 第15-30页 |
| 2.1 紫外探测器基本类型及结构 | 第15-17页 |
| 2.1.1 紫外探测器的原理 | 第15页 |
| 2.1.2 紫外探测器的基本类型 | 第15-17页 |
| 2.2 MSM光电探测器工作原理和电流电压特性 | 第17-27页 |
| 2.2.1 欧姆接触 | 第17-20页 |
| 2.2.2 MSM光电导探测器工作原理 | 第20-21页 |
| 2.2.3 肖特基接触及电流输运 | 第21-25页 |
| 2.2.4 肖特基势垒MSM光电探测器的工作原理 | 第25-27页 |
| 2.3 MSM光电探测器特性参数 | 第27-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 叉指电极结构对探测器结性能影响 | 第30-43页 |
| 3.1 ZnO材料的制备及表征 | 第30-33页 |
| 3.1.1 ZnO单晶生长技术 | 第30-31页 |
| 3.1.2 ZnO纳米材料的表征方法 | 第31-33页 |
| 3.2 ZnOMSM光电探测器的建模 | 第33-37页 |
| 3.2.1 数值拟合方法 | 第33-34页 |
| 3.2.2 ZnO器件结构 | 第34页 |
| 3.2.3 ZnO半导体方程与物理模型 | 第34-37页 |
| 3.3 仿真结果和优化 | 第37-42页 |
| 3.3.1 MSM器件的仿真 | 第37-41页 |
| 3.3.2 MSM器件的优化 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 Al-ZnO-AlMSM紫外探测器的制备及特性研究 | 第43-57页 |
| 4.1 引言 | 第43-44页 |
| 4.2 Al-ZnO-Al叉指电极紫外光探测器的制备过程 | 第44-47页 |
| 4.3 Al-ZnO-Al叉指电极紫外光探测器的的测试和分析 | 第47-53页 |
| 4.4 Al-ZnO-Al紫外探测器开关特性的优化 | 第53-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 Au-ZnO-AuMSM紫外探测器的制备及特性研究 | 第57-65页 |
| 5.1 引言 | 第57-58页 |
| 5.2 Au-ZnO-Au叉指电极紫外光探测器的的测试和分析 | 第58-62页 |
| 5.3 Au-ZnO-Au紫外探测器开关特性的优化 | 第62-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读学位期间取得学术成果 | 第72页 |
