氧化锌薄膜的制备与场发射特性研究

摘要	第1-8页
Abstract	第8-15页
第一章 引言	第15-22页
·薄膜材料简介	第15-16页
·氧化锌概述	第16-17页
·氧化锌的晶体结构	第16-17页
·氧化锌的基本特征	第17页
·氧化锌薄膜的应用	第17-19页
·氧化锌薄膜的研究进展	第19-20页
·研究的目的及意义	第20-22页
第二章 氧化锌样品的制备	第22-30页
·氧化锌薄膜的制备	第22-26页
·磁控溅射	第26-28页
·磁控溅射方法	第26-27页
·磁控溅射工作原理	第27页
·磁控溅射镀膜的特点	第27-28页
·样品制备	第28-30页
·实验设备	第28页
·基片清洗	第28页
·磁控溅射镀膜过程	第28-30页
第三章 样品的测试与表征	第30-53页
·扫描电镜观察制备样品表面形貌	第30-33页
·扫描电子显微镜	第30-31页
·样品形貌	第31-33页
·X-射线衍射测量	第33-46页
·X-射线衍射	第33页
·氧化锌的面间距和密勒指数	第33-38页
·氧化锌薄膜样品的X.射线衍射测量与分析	第38-46页
·拉曼光谱测量	第46-53页
·拉曼散射的原理	第46-47页
·拉曼散射的应用	第47页
·氧化锌薄膜样品的拉曼散射测量与分析	第47-53页
第四章 场发射特性研究	第53-60页
·平板显示及场发射显示技术	第53-54页
·场发射理论	第54-55页
·场发射测试系统	第55-56页
·气体分压和溅射压强对氧化锌薄膜场发射特性的影响	第56-60页
·气体分压对氧化锌薄膜场发射特性的影响	第56-57页
·溅射压强对氧化锌薄膜场发射特性的影响	第57-60页
第五章 结论	第60-62页
参考文献	第62-66页
致谢	第66-67页
附录(攻读学位期间发表论文目录)	第67-68页