| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 磁致伸缩材料概述 | 第13-15页 |
| 1.1.1 磁致伸缩材料的特性 | 第13-14页 |
| 1.1.2 超磁致伸缩材料 Terfenol-D 和 Galfonel | 第14-15页 |
| 1.2 磁致伸缩材料器件的仿真方法概述 | 第15-22页 |
| 1.2.1 基于 Jiles-Atherton、二次畴转模型的非线性建模方法 | 第16-18页 |
| 1.2.2 基于 MAXWELL 方程、动力学方程的线性建模方法 | 第18-22页 |
| 1.3 固态振动陀螺概述 | 第22-28页 |
| 1.3.1 振梁式压电振动陀螺 | 第22-23页 |
| 1.3.2 音叉式振动陀螺 | 第23-25页 |
| 1.3.3 半球谐振陀螺 | 第25-26页 |
| 1.3.4 微机械陀螺 | 第26-28页 |
| 1.4 本课题的研究内容和研究意义 | 第28-29页 |
| 第二章 磁致伸缩固体振子微陀螺的设计与仿真 | 第29-54页 |
| 2.1 固态振动微陀螺的工作原理 | 第29-34页 |
| 2.2 磁致伸缩固体振子微陀螺的结构设计 | 第34-42页 |
| 2.2.1 磁致伸缩固体振子微陀螺的结构 | 第34-35页 |
| 2.2.2 固体振子用磁致伸缩材料的选用及其工作特性 | 第35-39页 |
| 2.2.3 磁致伸缩固体振子微陀螺的偏置永磁体与线圈的设计 | 第39-40页 |
| 2.2.4 GMR 磁敏传感器的原理及选用 | 第40-42页 |
| 2.3 基于弱解方程的 GMM 体振子有限元模态分析 | 第42-47页 |
| 2.3.1 理论基础 | 第43-44页 |
| 2.3.2 基于 COMSOL 的模态及频域有限元分析 | 第44-46页 |
| 2.3.3 仿真结果 | 第46-47页 |
| 2.4 微陀螺工作磁场的仿真分析 | 第47-53页 |
| 2.4.1 理论基础 | 第47-48页 |
| 2.4.2 仿真软件参数设置 | 第48-50页 |
| 2.4.3 仿真结果 | 第50-53页 |
| 2.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第三章 磁致伸缩固体振子微陀螺的制造 | 第54-64页 |
| 3.1 MEMS 平面线圈工艺 | 第54-61页 |
| 3.1.1 光刻掩膜板说明 | 第54-55页 |
| 3.1.2 基本微加工工艺说明 | 第55-57页 |
| 3.1.3 平面线圈工艺流程 | 第57-60页 |
| 3.1.4 平面线圈加工结果 | 第60-61页 |
| 3.2 磁致伸缩固体振子的加工 | 第61-62页 |
| 3.3 磁致伸缩固体振子微陀螺表头的组装 | 第62-63页 |
| 3.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 磁致伸缩固体振子微陀螺驱动及检测电路的研究 | 第64-86页 |
| 4.1 稳流驱动电路实现方案 | 第64-75页 |
| 4.1.1 信号发生电路 | 第65-71页 |
| 4.1.2 电压电流转换电路 | 第71-73页 |
| 4.1.3 稳流驱动电路仿真 | 第73-75页 |
| 4.2 信号检测电路实现方案 | 第75-83页 |
| 4.2.1 磁场检测电路 | 第76-77页 |
| 4.2.2 解调电路 | 第77-79页 |
| 4.2.3 移相电路 | 第79-83页 |
| 4.3 电路设计实现 | 第83-85页 |
| 4.4 本章小结 | 第85-86页 |
| 第五章 测试实验 | 第86-93页 |
| 5.1 线圈参数测定 | 第86-87页 |
| 5.2 GMM 体振子谐振频率的测量 | 第87-91页 |
| 5.3 联调实验 | 第91-92页 |
| 5.4 本章小结 | 第92-93页 |
| 第六章 总结与展望 | 第93-96页 |
| 6.1 工作总结 | 第93-94页 |
| 6.2 主要创新点 | 第94页 |
| 6.3 工作展望 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-100页 |
| 附录 1 | 第100-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |
| 攻读硕士期间发表的论文与专利 | 第104页 |
