微型G-FET器件研制系统及其关键技术
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 相关技术发展现状 | 第13-15页 |
| 1.3 关键技术及其研究进展 | 第15-20页 |
| 1.3.1 μCVD结构设计技术 | 第15-16页 |
| 1.3.2 μCVD温度测控技术 | 第16-18页 |
| 1.3.3 μCVD显微成像技术 | 第18-20页 |
| 1.4 论文工作及章节安排 | 第20-22页 |
| 1.4.1 论文主要研究内容 | 第20页 |
| 1.4.2 章节安排 | 第20-22页 |
| 第二章 GFET的结构特征与制备工艺 | 第22-36页 |
| 2.1 场效应管的基本结构与特征 | 第22-25页 |
| 2.1.1 场效应管的基本结构 | 第22-23页 |
| 2.1.2 场效应管的工作原理与特性 | 第23-25页 |
| 2.2 GFET的基本结构与特性 | 第25-28页 |
| 2.2.1 石墨烯场效应管的基本结构 | 第26-27页 |
| 2.2.2 石墨烯场效应管的工作原理与特性 | 第27-28页 |
| 2.3 μCVD制备GFET工艺简介 | 第28-35页 |
| 2.3.1 石墨烯特性与工艺目标 | 第29-31页 |
| 2.3.2 μCVD法石墨烯转移技术 | 第31-33页 |
| 2.3.3 μCVD法GFET制备原理和流程 | 第33-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 用于生长石墨烯的μCVD微芯片设计 | 第36-56页 |
| 3.1 μCVD系统的理论模型分析 | 第36-44页 |
| 3.1.1 温度稳定时间模型 | 第36-42页 |
| 3.1.2 气体交换速率模型 | 第42-43页 |
| 3.1.3 气体流动状态模型 | 第43-44页 |
| 3.2 μCVD微芯片建模与仿真 | 第44-51页 |
| 3.2.1 ANSYS有限元分析软件简介 | 第45页 |
| 3.2.2 μCVD微芯片结构优化 | 第45-48页 |
| 3.2.3 μCVD微芯片耦合仿真 | 第48-51页 |
| 3.3 仿真结果与讨论 | 第51-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-56页 |
| 第四章 μCVD温度测控系统 | 第56-82页 |
| 4.1 温度检测技术 | 第56-62页 |
| 4.1.1 温度检测技术简介 | 第56-58页 |
| 4.1.2 基于红外辐射的测温原理 | 第58-60页 |
| 4.1.3 温度检测系统误差分析 | 第60-62页 |
| 4.2 温度控制技术 | 第62-67页 |
| 4.2.1 温度控制技术简介 | 第63-65页 |
| 4.2.2 基于模糊PID的控温原理 | 第65-67页 |
| 4.3 温度测控系统硬件设计 | 第67-74页 |
| 4.3.1 硬件开发平台介绍 | 第67-72页 |
| 4.3.2 硬件原理图设计及平台搭建 | 第72-74页 |
| 4.4 温度测控系统软件设计 | 第74-81页 |
| 4.4.1 软件开发平台介绍 | 第74-76页 |
| 4.4.2 温度检测程序设计 | 第76-78页 |
| 4.4.3 温度控制程序设计 | 第78-79页 |
| 4.4.4 温度测控系统校准实验 | 第79-81页 |
| 4.5 本章小结 | 第81-82页 |
| 第五章 μCVD显微成像系统 | 第82-100页 |
| 5.1 自动聚焦技术 | 第82-88页 |
| 5.1.1 传统自动聚焦算法 | 第82-85页 |
| 5.1.2 优化自动聚焦算法 | 第85-86页 |
| 5.1.3 优化算子比较及分析 | 第86-88页 |
| 5.2 图像拼接技术 | 第88-94页 |
| 5.2.1 图像拼接原理 | 第88-89页 |
| 5.2.2 图像预处理 | 第89-91页 |
| 5.2.3 图像匹配 | 第91-93页 |
| 5.2.4 图像融合 | 第93-94页 |
| 5.3 显微成像系统设计 | 第94-99页 |
| 5.3.1 显微成像总体设计 | 第94-96页 |
| 5.3.2 图像采集模块 | 第96-98页 |
| 5.3.3 图像处理模块 | 第98-99页 |
| 5.4 本章小结 | 第99-100页 |
| 第六章 μCVD系统使用及说明 | 第100-118页 |
| 6.1 μCVD系统整体架构 | 第100-101页 |
| 6.2 μCVD系统装配 | 第101-109页 |
| 6.2.1 气路装配 | 第101-105页 |
| 6.2.2 腔体装配 | 第105-109页 |
| 6.3 μCVD显微成像系统使用说明 | 第109-114页 |
| 6.3.1 系统设置 | 第109-110页 |
| 6.3.2 系统操作 | 第110-113页 |
| 6.3.3 实例测试 | 第113-114页 |
| 6.4 本章小结 | 第114-118页 |
| 第七章 总结与展望 | 第118-122页 |
| 7.1 系统设计总结 | 第118-119页 |
| 7.2 发展趋势与展望 | 第119-122页 |
| 参考文献 | 第122-128页 |
| 攻读硕士学位期间申请的软件著作权及参与项目 | 第128-130页 |
| 致谢 | 第130页 |
