| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·研究背景 | 第9-13页 |
| ·声频定向系统研究背景 | 第9-11页 |
| ·基于MEMS 技术的微型压电超声换能器研究现状 | 第11-13页 |
| ·研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 微型压电超声换能器单元的建模以及优化 | 第15-39页 |
| ·理论基础 | 第15-17页 |
| ·压电材料研究现状 | 第15-16页 |
| ·机电耦合系数 | 第16-17页 |
| ·有效机电耦合系数 | 第17页 |
| ·微型压电超声换能器的数学建模 | 第17-24页 |
| ·压电方程 | 第19-22页 |
| ·换能器方程及其解 | 第22-24页 |
| ·微型压电超声换能器的优化 | 第24-35页 |
| ·材料参数 | 第24-25页 |
| ·换能器中心振幅与上电极半径的关系 | 第25-26页 |
| ·谐振频率、换能器一阶中心振幅与硅层厚度的关系 | 第26-28页 |
| ·谐振频率、有效机电耦合系数与硅层厚度的关系 | 第28-29页 |
| ·谐振频率、有效机电耦合系数与PZT 层厚度的关系 | 第29-31页 |
| ·谐振频率、有效机电耦合系数与粘接层厚度的关系 | 第31-32页 |
| ·谐振频率、有效机电耦合系数与换能器半径的关系 | 第32-35页 |
| ·微型压电超声换能器的有限元分析 | 第35-38页 |
| ·微型压电超声换能器的模态分析与谐响应分析 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 微型压电超声换能器阵列的指向性分析 | 第39-56页 |
| ·阵列参数 | 第39-41页 |
| ·指向性函数方程 | 第41-43页 |
| ·N 个点源任意分布的离散阵的指向性函数 | 第41-42页 |
| ·线列阵组合平面阵的指向性函数 | 第42-43页 |
| ·参量阵指向性 | 第43-48页 |
| ·参量发射阵的原理 | 第43-44页 |
| ·非线性声学理论 | 第44页 |
| ·参量阵的指向性函数 | 第44-48页 |
| ·换能器阵列优化 | 第48-54页 |
| ·单元间距优化 | 第49-51页 |
| ·单元个数优化 | 第51-53页 |
| ·优化结果 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 微型压电超声换能器阵列的制作与测试 | 第56-65页 |
| ·微型压电超声换能器的加工制作 | 第56-57页 |
| ·换能器性能测试 | 第57-64页 |
| ·谐振频率测试 | 第58-60页 |
| ·输出声压测试 | 第60-62页 |
| ·指向性测试 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·全文总结 | 第65-66页 |
| ·工作展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第72-73页 |