多振子兆声压电换能器及其复合抛光应用研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 超声加工技术概述 | 第8-11页 |
| 1.1.1 超声加工技术发展历程 | 第8-10页 |
| 1.1.2 超声加工技术发展趋势 | 第10-11页 |
| 1.2 匹配层换能器技术研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 超声辅助化学机械抛光技术研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3.1 化学机械复合抛光 | 第13-14页 |
| 1.3.2 超声化学机械复合抛光 | 第14-16页 |
| 1.4 课题的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 多层介质声传播 | 第18-25页 |
| 2.1 平面声波方程 | 第18-20页 |
| 2.2 声波透过多层中间层 | 第20-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 多电极振子压电振动 | 第25-36页 |
| 3.1 压电振子 | 第25-29页 |
| 3.1.1 压电效应与压电方程 | 第25-28页 |
| 3.1.2 压电振子的振动模式 | 第28-29页 |
| 3.2 压电振子的振动模式控制 | 第29-33页 |
| 3.3 多电极压电振子 | 第33-35页 |
| 3.3.1 多电极压电振子制作 | 第33页 |
| 3.3.2 多电极压电振子振幅均匀性测试 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 匹配层结构压电振子兆声抛光实验 | 第36-49页 |
| 4.1 匹配层结构兆声抛光振子 | 第36-39页 |
| 4.2 匹配层振子兆声抛光系统 | 第39-41页 |
| 4.3 硅片的兆声抛光实验 | 第41-48页 |
| 4.3.1 抛光实验参数 | 第41-43页 |
| 4.3.2 实验结果分析 | 第43-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 液固耦合压电振子兆声抛光实验 | 第49-58页 |
| 5.1 液固耦合压电抛光振子 | 第49-50页 |
| 5.2 液固耦合振子兆声抛光 | 第50-57页 |
| 5.2.1 液固耦合振子兆声抛光系统 | 第50-51页 |
| 5.2.2 液固耦合振子兆声抛光实验 | 第51-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 多振子兆声抛光实验 | 第58-65页 |
| 6.1 多电极压电抛光振子 | 第58-60页 |
| 6.2 多电极抛光振子抛光实验 | 第60-62页 |
| 6.3 兆声抛光去除率实验 | 第62-63页 |
| 6.4 硅片的兆声化学机械抛光材料去除机制 | 第63-64页 |
| 6.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 7 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
