| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-10页 |
| Abstract | 第10-11页 |
| 缩略词表 | 第21-22页 |
| 第1章 绪论 | 第22-42页 |
| 1.1 柔性电子器件背景 | 第22-28页 |
| 1.1.1 柔性电子器件的意义 | 第22-25页 |
| 1.1.2 柔性薄膜电子器件的国内外发展 | 第25-28页 |
| 1.2 声表面波器件的发展与现状 | 第28-39页 |
| 1.2.1 压电材料的种类以及发展趋势 | 第28-30页 |
| 1.2.2 声表面波器件 | 第30-39页 |
| 1.2.2.1 声表面波器件的工作原理 | 第30-31页 |
| 1.2.2.2 SAW器件结构和压电材料 | 第31-32页 |
| 1.2.2.3 SAW器件国内外发展状况 | 第32-38页 |
| 1.2.2.4 柔性SAW器件的技术难点分析 | 第38-39页 |
| 1.3 论文的研究内容和章节安排 | 第39-42页 |
| 1.3.1 论文的研究内容和创新点 | 第39-40页 |
| 1.3.2 论文的主要创新点 | 第40页 |
| 1.3.3 论文的章节安排 | 第40-42页 |
| 第2章 柔性SAW器件的制备以及材料、器件表征 | 第42-65页 |
| 2.1 柔性SAW器件的制备 | 第42-57页 |
| 2.1.1 柔性SAW器件结构的提出 | 第42页 |
| 2.1.2 柔性基底材料的选取 | 第42-45页 |
| 2.1.3 压电薄膜材料的选择 | 第45-52页 |
| 2.1.3.1 ZnO和AlN压电薄膜 | 第47-48页 |
| 2.1.3.2 压电薄膜的制备 | 第48-52页 |
| 2.1.4 光刻制备叉指环能器 | 第52-57页 |
| 2.2 材料的表征 | 第57-61页 |
| 2.2.1 压电薄膜的表征 | 第57-61页 |
| 2.2.1.1 X射线衍射仪 | 第57-59页 |
| 2.2.1.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第59页 |
| 2.2.1.3 原子力显微镜(AFM) | 第59-60页 |
| 2.2.1.4 alpha台阶仪 | 第60-61页 |
| 2.3 柔性SAW器件的测试 | 第61-64页 |
| 2.3.1 S参数的测试 | 第61-62页 |
| 2.3.2 温度传感的测试 | 第62-63页 |
| 2.3.3 微流控的测试 | 第63-64页 |
| 2.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第3章 ZnO薄膜晶粒结构对柔性SAW器件的影响 | 第65-93页 |
| 3.1 ZnO沉积工艺参数对晶粒结构的影响 | 第66-69页 |
| 3.1.1 溅射功率和衬底偏压对晶粒结构的影响 | 第66-68页 |
| 3.1.2 溅射气压对晶粒结构的影响 | 第68-69页 |
| 3.2 ZnO压电薄膜厚度对ZnO薄膜质量的影响 | 第69-75页 |
| 3.3 晶粒结构对柔性SAW器件的影响 | 第75-80页 |
| 3.4 柔性SAW器件的分析 | 第80-91页 |
| 3.4.1 柔性SAW器件的相速度分析 | 第80-81页 |
| 3.4.2 柔性SAW器件的有限元分析 | 第81-91页 |
| 3.5 本章小结 | 第91-93页 |
| 第4章 第二个波模式分析和柔性SAW器件应用 | 第93-122页 |
| 4.1 器件波长对柔性SAW器件影响 | 第93-97页 |
| 4.2 模式1的分析 | 第97-109页 |
| 4.2.1 模式1的几种可能性分析 | 第97-100页 |
| 4.2.2 模式1的有限元仿真和理论分析 | 第100-109页 |
| 4.2.2.1 模式1的有限元仿真分析 | 第100-105页 |
| 4.2.2.2 理论计算 | 第105-109页 |
| 4.3 S_0广义兰姆波猜想和验证 | 第109-112页 |
| 4.4 ZnO薄膜厚度对两个波模式的影响 | 第112-115页 |
| 4.5 柔性SAW器件的应用 | 第115-119页 |
| 4.5.1 温度传感应用 | 第116-117页 |
| 4.5.2 微流体领域应用 | 第117-119页 |
| 4.6 本章小结 | 第119-122页 |
| 第5章 基于AlN的柔性SAW器件以及新型柔性透明SAW器件 | 第122-148页 |
| 5.1 基于AlN的柔性SAW器件 | 第122-137页 |
| 5.1.1 工艺参数对AlN压电薄膜的影响 | 第122-135页 |
| 5.1.1.1 溅射气压的影响 | 第123-126页 |
| 5.1.1.2 N_2/Ar流量比的影响 | 第126-129页 |
| 5.1.1.3 溅射功率的影响 | 第129-132页 |
| 5.1.1.4 底层Al过渡层的影响 | 第132-135页 |
| 5.1.2 基于AlN的柔性SAW器件 | 第135-137页 |
| 5.2 新型柔性透明SAW器件 | 第137-146页 |
| 5.2.1 透明SAW器件 | 第138-144页 |
| 5.2.2 柔性透明SAW器件 | 第144-146页 |
| 5.3 本章小结 | 第146-148页 |
| 第6章 总结与展望 | 第148-152页 |
| 6.1 论文的主要研究内容 | 第148-150页 |
| 6.2 论文的主要创新点 | 第150-151页 |
| 6.3 论文的不足之处和将来的工作 | 第151-152页 |
| 参考文献 | 第152-169页 |
| 作者简历及在校期间取得的科研成果 | 第169-171页 |