| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 悬臂梁式微质量传感器工作模式 | 第11-15页 |
| 1.2.1 弯曲模式-静态检测模式 | 第12-13页 |
| 1.2.2 谐振模式-动态检测模式 | 第13-15页 |
| 1.3 悬臂梁式传感器检测技术 | 第15-16页 |
| 1.4 悬臂梁式微质量传感器的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.5 本文主要工作内容 | 第17-19页 |
| 2 悬臂梁式微质量传感器结构设计理论分析 | 第19-33页 |
| 2.1 概述 | 第19页 |
| 2.2 伯努利-欧拉梁理论分析 | 第19-23页 |
| 2.3 梁的有限元法分析 | 第23-29页 |
| 2.3.1 梁单元结点位移向量及刚度矩阵 | 第24-25页 |
| 2.3.2 Hermite单元插值函数 | 第25-29页 |
| 2.4 灵敏度分析 | 第29-31页 |
| 2.4.1 集中质量吸附灵敏度 | 第29-30页 |
| 2.4.2 面积吸附质量灵敏度 | 第30-31页 |
| 2.5 品质因数 | 第31-32页 |
| 2.6 小结 | 第32-33页 |
| 3 槽型变截面悬臂梁式传感器的结构设计与分析 | 第33-53页 |
| 3.1 概述 | 第33-34页 |
| 3.2 面向集中质量的高灵敏度微质量传感器设计 | 第34-47页 |
| 3.2.1 槽型变截面悬臂梁振动分析 | 第35-39页 |
| 3.2.2 灵敏度分析 | 第39-40页 |
| 3.2.3 槽型变截面悬臂梁结构参数对灵敏度的影响分析 | 第40-44页 |
| 3.2.4 实验验证 | 第44-47页 |
| 3.3 面向均布质量的高灵敏度微质量传感器设计 | 第47-51页 |
| 3.3.1 灵敏度分析 | 第47-48页 |
| 3.3.2 槽型变截面悬臂梁结构参数对灵敏度的影响分析 | 第48-50页 |
| 3.3.3 实验验证 | 第50-51页 |
| 3.4 小结 | 第51-53页 |
| 4 多阶梯悬臂梁式传感器的结构优化设计 | 第53-67页 |
| 4.1 概述 | 第53页 |
| 4.2 多阶梯悬臂梁式传感器优化设计模型 | 第53-66页 |
| 4.2.1 优化设计 | 第54-56页 |
| 4.2.2 优化变量与优化技术的选择 | 第56-57页 |
| 4.2.3 优化列式 | 第57-58页 |
| 4.2.4 多阶梯悬臂梁式传感器灵敏度提升分析 | 第58-59页 |
| 4.2.5 阶梯数对构型优化传感器的灵敏度影响分析 | 第59-66页 |
| 4.3 小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
