大行程精密工作台控制系统设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第8页 |
| 1.2 精密位移工作台国内外发展现状 | 第8-10页 |
| 1.2.1 电磁式超精密位移台 | 第8-9页 |
| 1.2.2 直线电机式超精密位移台 | 第9页 |
| 1.2.3 摩擦式驱动超精密位移台 | 第9-10页 |
| 1.2.4 两级进给超精密位移台 | 第10页 |
| 1.3 本文研究的主要内容 | 第10-11页 |
| 1.4 本章小结 | 第11-12页 |
| 2 粗精两级驱动工作台总体设计 | 第12-14页 |
| 2.1 技术指标 | 第12页 |
| 2.2 工作台结构及工作原理 | 第12-13页 |
| 2.3 本章小结 | 第13-14页 |
| 3 控制系统硬件设计 | 第14-25页 |
| 3.1 控制系统总体设计 | 第14页 |
| 3.2 激光干涉位移传感器信号采集模块设计 | 第14-17页 |
| 3.3 压电陶瓷驱动模块设计 | 第17-21页 |
| 3.3.1 D/A模块设计 | 第17-18页 |
| 3.3.2 压电陶瓷驱动电源设计 | 第18-21页 |
| 3.4 电源模块设计 | 第21-22页 |
| 3.5 电机驱动模块设计 | 第22-23页 |
| 3.6 USB通信模块设计 | 第23-24页 |
| 3.7 本章小结 | 第24-25页 |
| 4 位移计量算法设计 | 第25-40页 |
| 4.1 激光干涉测量原理 | 第25-27页 |
| 4.2 辨向计数算法设计 | 第27-29页 |
| 4.3 细分算法设计 | 第29-32页 |
| 4.4 迟滞补偿算法设计 | 第32-37页 |
| 4.5 位移计量算法误差分析 | 第37-39页 |
| 4.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 5 PID定位控制算法设计 | 第40-47页 |
| 5.1 PID控制算法简介 | 第41-42页 |
| 5.2 数字PID控制算法设计 | 第42-44页 |
| 5.3 PID控制参数整定 | 第44-46页 |
| 5.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 6 控制系统软件设计 | 第47-53页 |
| 6.1 Windows上位机程序设计 | 第47-51页 |
| 6.1.2 USB通信实现 | 第47-48页 |
| 6.1.3 USB通信数据格式 | 第48-49页 |
| 6.1.4 接口函数的封装 | 第49-51页 |
| 6.2 K60下位机程序设计 | 第51-52页 |
| 6.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 7 粗精两级驱动工作台定位实验 | 第53-61页 |
| 7.1 工作台定位实验设计 | 第53-56页 |
| 7.2 实验结果分析 | 第56-59页 |
| 7.3 工作台分辨率测试 | 第59-60页 |
| 7.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 8 总结与展望 | 第61-63页 |
| 8.1 全文总结 | 第61页 |
| 8.2 展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士期间发表的论文 | 第67页 |
