有像差系统的曝光拼接光栅关键技术研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.3 大口径光栅研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3.1 光栅机械拼接法 | 第13-15页 |
| 1.3.2 干涉条纹扫描曝光法 | 第15-16页 |
| 1.3.3 全息光栅曝光拼接法 | 第16-17页 |
| 1.4 论文的主要工作 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-24页 |
| 第2章 拼接光栅衍射波面特性分析 | 第24-54页 |
| 2.1 无像差时拼接误差对远场衍射光斑分布的影响 | 第24-29页 |
| 2.1.1 相位平移误差对光斑的影响 | 第25-27页 |
| 2.1.2 倾斜度误差对光斑的影响 | 第27-28页 |
| 2.1.3 周期误差对光斑的影响 | 第28-29页 |
| 2.2 有像差情况下的光栅对准拼接 | 第29-38页 |
| 2.2.1 光栅对准拼接定义 | 第30-33页 |
| 2.2.2 全息曝光系统波面对准拼接 | 第33-34页 |
| 2.2.3 波面像差对远场光斑分布的影响 | 第34-36页 |
| 2.2.4 波面平移误差对远场光斑分布的影响 | 第36-38页 |
| 2.3 有像差情况下的光栅并列拼接 | 第38-43页 |
| 2.4 脉冲压缩池内光栅拼缝宽度对光强分布的影响 | 第43-51页 |
| 2.4.1 激光脉冲压缩模型 | 第43-45页 |
| 2.4.2 压缩池内衍射光强分布情况 | 第45-48页 |
| 2.4.3 有带宽谱时衍射光强分布情况 | 第48-51页 |
| 2.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 第3章 光栅拼接系统研究 | 第54-86页 |
| 3.1 全息光栅曝光拼接系统 | 第54-59页 |
| 3.2 光栅拼接误差分析 | 第59-66页 |
| 3.2.1 光栅条纹周期误差 | 第59-63页 |
| 3.2.2 光栅条纹倾斜度误差 | 第63-64页 |
| 3.2.3 光栅条纹相位误差 | 第64-65页 |
| 3.2.4 像差对拼接误差的影响 | 第65-66页 |
| 3.3 三维条纹锁定方法及实验 | 第66-79页 |
| 3.3.1 光栅周期锁定 | 第66-67页 |
| 3.3.2 光栅相位和倾斜角锁定 | 第67-70页 |
| 3.3.3 三维条纹锁定实验 | 第70-77页 |
| 3.3.4 三维条纹锁定效果评价 | 第77-79页 |
| 3.4 有像差情况下三维条纹锁定方法 | 第79-84页 |
| 3.4.1 RMS对准法 | 第80-81页 |
| 3.4.2 FFT对准法 | 第81-84页 |
| 3.5 本章小结 | 第84页 |
| 参考文献 | 第84-86页 |
| 第4章 有像差系统的曝光拼接方法 | 第86-99页 |
| 4.1 光栅曝光区域像差测量方法 | 第86-90页 |
| 4.2 参考干涉条纹预制法 | 第90-93页 |
| 4.3 光栅拼接过程模拟 | 第93-97页 |
| 4.3.1 对准拼接 | 第93-96页 |
| 4.3.2 并列拼接 | 第96-97页 |
| 4.4 本章小结 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-99页 |
| 第5章 大口径光栅拼接实验 | 第99-119页 |
| 5.1 小像差情况下的光栅拼接实验 | 第100-109页 |
| 5.1.1 二拼光栅 | 第100-104页 |
| 5.1.2 三拼光栅 | 第104-106页 |
| 5.1.3 增加离焦情况下的光栅拼接实验 | 第106-109页 |
| 5.2 有像差情况下的光栅拼接实验 | 第109-118页 |
| 5.2.1 传统的全息光栅曝光拼接实验 | 第109-110页 |
| 5.2.2 光栅对准拼接实验 | 第110-114页 |
| 5.2.3 光栅并列拼接实验 | 第114-116页 |
| 5.2.4 拼接光栅远场衍射光斑分析 | 第116-118页 |
| 5.3 本章小结 | 第118-119页 |
| 第6章 总结与展望 | 第119-122页 |
| 6.1 本文的研究工作 | 第119-120页 |
| 6.2 主要创新点 | 第120页 |
| 6.3 工作展望 | 第120-122页 |
| 攻读博士学位期间参加的学术会议 | 第122页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第122-123页 |
| 攻读博士学位期间参加的科研项目 | 第123-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
