| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 风速风向传感器的发展历程与MEMS风速风向传感器 | 第8-14页 |
| 1.2.1 风速风向传感器的发展历程 | 第8-10页 |
| 1.2.2 MEMS风速风向传感器 | 第10-14页 |
| 1.3 压阻式风速风向传感器 | 第14-16页 |
| 1.3.1 测量粘滞力 | 第14页 |
| 1.3.2 测量压差 | 第14-15页 |
| 1.3.3 测量升力 | 第15-16页 |
| 1.3.4 测量风压 | 第16页 |
| 1.4 评述与小结 | 第16-17页 |
| 1.5 本论文主要工作及论文纲要 | 第17-20页 |
| 第二章 压阻式风速风向传感器的设计与研究 | 第20-40页 |
| 2.0 引言 | 第20页 |
| 2.1 压阻传感器工作原理 | 第20-21页 |
| 2.2. 传感器设计理论分析与计算 | 第21-29页 |
| 2.2.1 测试电路 | 第21-22页 |
| 2.2.2 压阻效应 | 第22-25页 |
| 2.2.3 风压与应力 | 第25-28页 |
| 2.2.4 灵敏度与量程 | 第28-29页 |
| 2.3 传感器结构仿真 | 第29-38页 |
| 2.3.1 SUPREM仿真与压阻设计 | 第29-32页 |
| 2.3.2 悬臂梁结构设计与ANSYS仿真 | 第32-37页 |
| 2.3.3 传感器参数设计与性能指标评估 | 第37-38页 |
| 2.4 小结 | 第38-40页 |
| 第三章 传感器芯片设计与加工 | 第40-50页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 传感器加工流程设计 | 第40-42页 |
| 3.3 芯片版图设计与加工 | 第42-46页 |
| 3.3.1 版图设计 | 第42-43页 |
| 3.3.2 芯片加工 | 第43-46页 |
| 3.4 芯片实验结果 | 第46-48页 |
| 3.5 小结 | 第48-50页 |
| 第四章 MEMS压阻式风速传感器的封装设计 | 第50-56页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 传感器封装与外壳设计 | 第50-55页 |
| 4.2.1 传感器系统外壳结构 | 第50-53页 |
| 4.2.2 系统封装ANSYS流固耦合结构仿真 | 第53-55页 |
| 4.2.3 封装效果图 | 第55页 |
| 4.4 小结 | 第55-56页 |
| 第五章 传感器的测试结果及分析 | 第56-66页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 压阻的测试 | 第56-57页 |
| 5.2.1 测试系统 | 第56页 |
| 5.2.2 初始值测试 | 第56-57页 |
| 5.3 传感器性能测试结果分析 | 第57-61页 |
| 5.3.1 量程与灵敏度测试与分析 | 第58-59页 |
| 5.3.2 一致性和重复性的测试与分析 | 第59页 |
| 5.3.3 精度的测试分析 | 第59-60页 |
| 5.3.4 数据稳定性测试与分析 | 第60-61页 |
| 5.4 改进方案 | 第61-64页 |
| 5.4.1 封装的改进 | 第61页 |
| 5.4.2 改进封装仿真 | 第61-63页 |
| 5.4.3 改进后测试 | 第63-64页 |
| 5.5 小结 | 第64-66页 |
| 第六章 总结与工作展望 | 第66-68页 |
| 6.1 总结 | 第66-67页 |
| 6.2 工作展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 作者简介 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |