| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第13-35页 |
| 1.1 课题背景及研究目的和意义 | 第13-15页 |
| 1.2 脑颅压检测技术国内外研究现状 | 第15-19页 |
| 1.3 声表面波传感器研究现状 | 第19-33页 |
| 1.3.1 声表面波概述 | 第19-28页 |
| 1.3.2 声表面波传感器国外研究现状 | 第28-31页 |
| 1.3.3 声表面波传感器国内研究现状 | 第31-33页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第33-35页 |
| 第2章 声表面波脑颅压传感器的总体设计 | 第35-55页 |
| 2.1 引言 | 第35页 |
| 2.2 脑颅压传感器设计要求及指标的确定 | 第35-38页 |
| 2.3 脑颅压传感器的工作原理与系统组成 | 第38-40页 |
| 2.3.1 工作原理 | 第38-39页 |
| 2.3.2 系统组成 | 第39-40页 |
| 2.4 脑颅压传感器压电敏感元件的分析与设计 | 第40-51页 |
| 2.4.1 压电敏感元件材料的选择 | 第40-44页 |
| 2.4.2 压电敏感元件的温度补偿 | 第44-46页 |
| 2.4.3 压电敏感元件的受力分析 | 第46-49页 |
| 2.4.4 灵敏度建模与分析 | 第49-51页 |
| 2.5 脑颅压传感器封装结构的设计与分析 | 第51-53页 |
| 2.5.1 封装结构的设计 | 第52-53页 |
| 2.5.2 封装结构生物兼容性的分析 | 第53页 |
| 2.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 第3章 差分式脑颅压传感器的设计 | 第55-75页 |
| 3.1 引言 | 第55页 |
| 3.2 脑颅压传感器频域设计目标 | 第55-56页 |
| 3.3 脑颅压传感器的初步设计 | 第56-59页 |
| 3.4 脑颅压传感器的建模和参数确定 | 第59-72页 |
| 3.4.1 声表面波模态耦合模型的引入 | 第59-61页 |
| 3.4.2 声表面波传感器模态耦合模型的建立 | 第61-65页 |
| 3.4.3 声表面波传感器的参数确定 | 第65-72页 |
| 3.5 脑颅压传感器频率特性测试 | 第72-74页 |
| 3.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 第4章 多层膜结构脑颅压传感器关键参数分析与确定 | 第75-97页 |
| 4.1 引言 | 第75页 |
| 4.2 多层膜结构脑颅压传感器的基本结构 | 第75-76页 |
| 4.3 多层膜结构脑颅压传感器有限元数学模型 | 第76-81页 |
| 4.4 多层膜结构脑颅压传感器关键参数的分析与确定 | 第81-94页 |
| 4.4.1 压电基底材料参数 | 第81-84页 |
| 4.4.2 声表面波的相速度 | 第84-89页 |
| 4.4.3 传感器的温度系数 | 第89-92页 |
| 4.4.4 传感器的机电耦合系数 | 第92-94页 |
| 4.5 多层膜结构脑颅压传感器的反射系数仿真 | 第94-95页 |
| 4.6 本章小结 | 第95-97页 |
| 第5章 脑颅压传感器制作工艺研究 | 第97-109页 |
| 5.1 引言 | 第97页 |
| 5.2 传感器压电敏感元件的制作工艺 | 第97-104页 |
| 5.2.1 金属电极的制作工艺 | 第97-101页 |
| 5.2.2 SiO_2薄膜的制作工艺 | 第101-104页 |
| 5.3 传感器封装的制作工艺 | 第104-108页 |
| 5.3.1 传感器封装制作过程 | 第104-105页 |
| 5.3.2 传感器封装尺寸的分析 | 第105-108页 |
| 5.4 本章小结 | 第108-109页 |
| 第6章 脑颅压传感器实验研究 | 第109-126页 |
| 6.1 引言 | 第109页 |
| 6.2 脑颅压传感器实验平台的搭建 | 第109-111页 |
| 6.2.1 实验测试要求 | 第109-110页 |
| 6.2.2 实验平台的搭建 | 第110-111页 |
| 6.3 脑颅压传感器的实验测试 | 第111-125页 |
| 6.3.1 传感器的散射参数 | 第111-112页 |
| 6.3.2 差分式脑颅压传感器的压力测试实验 | 第112-120页 |
| 6.3.3 差分式脑颅压传感器的温度测试实验 | 第120-123页 |
| 6.3.4 LiNbO_3基底温度传感器的测试实验 | 第123-124页 |
| 6.3.5 多层膜结构脑颅压传感器特性测试实验 | 第124-125页 |
| 6.4 本章小结 | 第125-126页 |
| 结论 | 第126-128页 |
| 参考文献 | 第128-139页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第139-141页 |
| 致谢 | 第141-142页 |
| 个人简历 | 第142页 |