| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·ZnO的晶体结构和基本性质 | 第10页 |
| ·ZnO的掺杂特性研究 | 第10-11页 |
| ·ZnO器件的应用 | 第11-16页 |
| ·MIS结构的LED | 第12页 |
| ·ZnO同质结LED | 第12-13页 |
| ·ZnO异质结LED | 第13页 |
| ·ZnO多量子阱LED | 第13页 |
| ·ZnO紫外光电探测器 | 第13-14页 |
| ·ZnO肖特基紫外探测器 | 第14页 |
| ·ZnO的其他应用 | 第14-16页 |
| 第二章 ZnO薄膜的制备方法与表征手段 | 第16-19页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第16-17页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第16页 |
| ·磁控溅射法 | 第16-17页 |
| ·ZnO薄膜的测试方法 | 第17-19页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第17-18页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第18页 |
| ·光致发光谱(PL) | 第18页 |
| ·透射谱 | 第18-19页 |
| 第三章 溶胶凝胶法制备Li、Mg掺杂/Li-Mg共掺杂ZnO薄膜及其特性研究 | 第19-30页 |
| ·Li、Mg掺杂ZnO薄膜的制备 | 第19-21页 |
| ·Li~+、Mg~(2+)掺杂以及Li-Mg共掺对ZnO薄膜特性的影响 | 第21-29页 |
| ·Li~+、Mg~(2+)掺杂以及Li-Mg共掺对ZnO薄膜结构特性的影响 | 第21-22页 |
| ·Li~+、Mg~(2+)掺杂以及Li-Mg共掺对ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第22-23页 |
| ·Li-Mg共掺杂ZnO薄膜的ICP测试和分析 | 第23-24页 |
| ·Li~+、Mg~(2+)以及Li-Mg共掺对ZnO薄膜光致发光(PL)特性的影响 | 第24-26页 |
| ·Li~+、Mg~(2+)掺杂对ZnO薄膜透射谱的影响 | 第26-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第四章 ZnO-金属肖特基二极管的制备及特性研究 | 第30-46页 |
| ·ZnO-金属肖特基二极管的研究背景与意义 | 第30-31页 |
| ·ZnO-金属肖特基二极管的研制 | 第31-42页 |
| ·ZnO-金属肖特基二极管的制备流程 | 第31-33页 |
| ·肖特基金属的选择 | 第33-34页 |
| ·磁控溅射法制备AZO薄膜 | 第34-37页 |
| ·磁控溅射法制备ZnO薄膜 | 第37-41页 |
| ·肖特基接触电极Ag的沉积 | 第41-42页 |
| ·ZnO-Ag肖特基接触I/V特性测试 | 第42-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第五章 结论 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 在学期间的研究成果 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51页 |
