| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-33页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第13-14页 |
| 1.2 镁合金的应用及存在的问题 | 第14-22页 |
| 1.2.1 镁合金的应用 | 第14-16页 |
| 1.2.2 镁合金的腐蚀问题 | 第16-18页 |
| 1.2.3 腐蚀的影响因素 | 第18-19页 |
| 1.2.4 镁合金腐蚀热力学和动力学以及负差数效应 | 第19-22页 |
| 1.3 现代表面处理方法 | 第22-25页 |
| 1.3.1 电镀和化学镀 | 第22-23页 |
| 1.3.2 化学转化膜 | 第23页 |
| 1.3.3 阳极氧化和微弧氧化 | 第23-24页 |
| 1.3.4 激光表面处理 | 第24页 |
| 1.3.5 气相沉积技术 | 第24-25页 |
| 1.4 磁控溅射 | 第25-28页 |
| 1.4.1 磁控溅射原理和特点 | 第25-26页 |
| 1.4.2 磁控溅射分类 | 第26-28页 |
| 1.5 多元薄膜的研究现状 | 第28-32页 |
| 1.6 本文研究的主要内容 | 第32-33页 |
| 第2章 试验材料及研究方法 | 第33-45页 |
| 2.1 试验材料 | 第33-34页 |
| 2.2 薄膜的制备 | 第34-35页 |
| 2.3 薄膜残余应力计算 | 第35-38页 |
| 2.4 薄膜结构表征 | 第38-40页 |
| 2.4.1 X射线衍射(XRD) | 第38页 |
| 2.4.2 X射线荧光光谱(XRF) | 第38-39页 |
| 2.4.3 扫描电镜(SEM) | 第39页 |
| 2.4.4 能谱仪(EDS) | 第39-40页 |
| 2.4.5 原子力显微镜(AFM) | 第40页 |
| 2.4.6 透射电镜(TEM) | 第40页 |
| 2.5 薄膜性能测试 | 第40-42页 |
| 2.5.1 腐蚀性能 | 第40-41页 |
| 2.5.2 薄膜附着力 | 第41-42页 |
| 2.5.3 薄膜润湿性 | 第42页 |
| 2.6 薄膜真空退火 | 第42-45页 |
| 第3章 磁控溅射薄膜的制备及其结构表征 | 第45-67页 |
| 3.1 引言 | 第45页 |
| 3.2 薄膜制备参数优化 | 第45-52页 |
| 3.2.1 基体负偏压 | 第45-47页 |
| 3.2.2 溅射电流 | 第47-49页 |
| 3.2.3 工作气压 | 第49-50页 |
| 3.2.4 Ar/N_2流量比 | 第50-52页 |
| 3.3 薄膜的结构表征 | 第52-65页 |
| 3.3.1 物相结构分析 | 第52-54页 |
| 3.3.2 形貌和微区化学成分分析 | 第54-56页 |
| 3.3.3 表面元素含量和分布状态分析 | 第56-60页 |
| 3.3.4 透射电镜显微分析 | 第60-62页 |
| 3.3.5 表面粗糙度分析 | 第62-65页 |
| 3.4 本章小结 | 第65-67页 |
| 第4章 薄膜残余应力与性能的研究 | 第67-87页 |
| 4.1 引言 | 第67页 |
| 4.2 残余应力计算 | 第67-73页 |
| 4.2.1 缓冲层厚度对薄膜残余应力的影响 | 第68-70页 |
| 4.2.2 乙炔流量对薄膜残余应力的影响 | 第70-71页 |
| 4.2.3 晶粒尺寸对薄膜残余应力的影响 | 第71-73页 |
| 4.3 薄膜与基体的结合性能 | 第73-75页 |
| 4.4 薄膜表面润湿性 | 第75-78页 |
| 4.5 腐蚀性能 | 第78-86页 |
| 4.5.1 腐蚀产物 | 第78-79页 |
| 4.5.2 腐蚀形貌和EDS分析 | 第79-80页 |
| 4.5.3 Tafel极化曲线 | 第80-81页 |
| 4.5.4 交流阻抗 | 第81-85页 |
| 4.5.5 腐蚀机理 | 第85-86页 |
| 4.6 本章小结 | 第86-87页 |
| 第5章 真空退火对薄膜结构和性能的影响 | 第87-105页 |
| 5.1 退火温度对薄膜结构的影响 | 第87-94页 |
| 5.1.1 XRD | 第87-88页 |
| 5.1.2 SEM和EDS | 第88-90页 |
| 5.1.3 XRF | 第90-91页 |
| 5.1.4 TEM | 第91-93页 |
| 5.1.5 AFM | 第93-94页 |
| 5.2 退火温度对薄膜性能的影响 | 第94-103页 |
| 5.2.1 残余应力 | 第94-96页 |
| 5.2.2 膜/基结合性能 | 第96-97页 |
| 5.2.3 润湿性能 | 第97-98页 |
| 5.2.4 腐蚀性能 | 第98-103页 |
| 5.3 本章小结 | 第103-105页 |
| 第6章 薄膜的生长及其形核长大 | 第105-115页 |
| 6.1 薄膜生长模式 | 第105-106页 |
| 6.2 薄膜的形核和长大 | 第106-110页 |
| 6.2.1 薄膜的形核 | 第106-108页 |
| 6.2.2 薄膜的长大 | 第108-110页 |
| 6.3 基体材质对薄膜生长的影响 | 第110-113页 |
| 6.4 本章小结 | 第113-115页 |
| 第7章 结论 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-131页 |
| 攻读学位期间取得的科研成果 | 第131-133页 |
| 致谢 | 第133页 |