| 致谢 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1章 前言 | 第11-27页 |
| ·光波的衍射和衍射受限问题 | 第11-13页 |
| ·衍射现象 | 第11页 |
| ·传统光学系统“衍射受限”问题 | 第11-12页 |
| ·光学成像分辨力衍射受限带来的影响 | 第12-13页 |
| ·倏逝波对分辨力“衍射受限”问题的影响 | 第13-15页 |
| ·表面等离子体及亚波长结构新奇光学现象 | 第15-21页 |
| ·表面等离子体概念和属性 | 第15-18页 |
| ·新奇光学现象和亚波长 SP 光学研究热潮 | 第18-21页 |
| ·负折射率材料和超分辨成像透镜 | 第21-25页 |
| ·论文研究内容及章节安排 | 第25-27页 |
| 第2章 金属缝槽结构光波超衍射辐射数理模型及行为特性研究 | 第27-47页 |
| ·金属缝槽结构 SP 超衍射激发和辐射数理模型 | 第27-33页 |
| ·金属缝槽结构的基尔霍夫光衍射分析 | 第27-29页 |
| ·金属沟槽结构局域电磁模式和耦合特性分析 | 第29-31页 |
| ·模型准确性的数值验证和实验验证 | 第31-33页 |
| ·金属缝槽光超衍射辐射机理和特性分析 | 第33-37页 |
| ·异常衍射现象的原因 | 第33-34页 |
| ·衍射行为与几何参数的关系 | 第34-37页 |
| ·金属缝槽超衍射辐射的远场行为特性 | 第37-45页 |
| ·几何参数对狭缝-沟槽的衍射影响 | 第38-45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 第3章 光在金属介质交替膜层材料中的传输行为特性研究 | 第47-59页 |
| ·金属介质交替膜层材料的等效介质理论分析 | 第47-51页 |
| ·多层金属介质等效材料中的电磁波传输特性 | 第49-51页 |
| ·定向 SP 超衍射传输行为实验验证 | 第51-54页 |
| ·设计以及数值仿真结果 | 第51-53页 |
| ·SP 超衍射定向传输实验验证 | 第53-54页 |
| ·定向传输行为与结构参数的关系 | 第54-58页 |
| ·膜层厚度 | 第55-56页 |
| ·介质层填充因子 | 第56-57页 |
| ·金属介质膜层的介电常数 | 第57-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第4章 基于金属介质交替膜层材料的近场超透镜 | 第59-78页 |
| ·基于 SP 共振效应的各向异性超透镜 | 第60-67页 |
| ·各向异性类金属结构材料中的 SP 共振特性 | 第61-63页 |
| ·各向异性超透镜结构(ASL)传函和成像分析 | 第63-67页 |
| ·基于 SP 定向传输效应的成像方法 | 第67-77页 |
| ·各向异性金属介质薄膜结构 | 第67-70页 |
| ·金属-介质多层膜结构的 OTF 曲线 | 第70-74页 |
| ·有限损耗情况下金属-介质多层膜结构亚波长成像分析 | 第74-77页 |
| ·小结 | 第77-78页 |
| 第5章 远场超分辨成像方法 | 第78-87页 |
| ·成像结构及傅立叶分析 | 第79-82页 |
| ·超分辨成像结构设计和模拟分析 | 第82-86页 |
| ·小结 | 第86-87页 |
| 第6章 提高超透镜成像光刻性能的原理方法和实验验证 | 第87-96页 |
| ·反射共振型 SP 超透镜的设计与分析 | 第87-91页 |
| ·反射共振型 SP 超透镜成像光刻 | 第91-94页 |
| ·等离子体透镜光刻的光学邻近校正 | 第94-95页 |
| ·小结 | 第95-96页 |
| 第7章 总结与展望 | 第96-98页 |
| 参考文献 | 第98-108页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第108-111页 |
| 附录：基于 RCWA 算法的计算程序 SmatPro | 第111-123页 |
