点衍射干涉仪检测技术研究
| 致谢 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 1 绪论 | 第11-24页 |
| ·课题的研究背景与意义 | 第11-13页 |
| ·国内外研究现状、水平和发展趋势 | 第13-22页 |
| ·高精度检测干涉仪 | 第13-18页 |
| ·点衍射干涉仪的国内外研究现状 | 第18-21页 |
| ·点衍射干涉仪的发展趋势和应用前景 | 第21-22页 |
| ·论文的主要研究内容及组织结构 | 第22-24页 |
| 2 针孔衍射的数值仿真 | 第24-50页 |
| ·理论模型 | 第25-26页 |
| ·二维建模 | 第26-36页 |
| ·二维几何模型 | 第26-27页 |
| ·激励源的选择 | 第27-29页 |
| ·远场发散 | 第29页 |
| ·衍射波面误差 | 第29-32页 |
| ·光场均匀性 | 第32-33页 |
| ·入射光斑位置误差对衍射波前的影响 | 第33-36页 |
| ·三维建模 | 第36-48页 |
| ·三维几何模型 | 第36-38页 |
| ·近场振幅与相位 | 第38-39页 |
| ·衍射波面误差及光场均匀性 | 第39-44页 |
| ·针孔形状误差 | 第44-48页 |
| ·仿真结果小结 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 3 面形检测原理及误差分析 | 第50-72页 |
| ·点衍射干涉仪检测面形原理 | 第50-51页 |
| ·移相干涉术 | 第51-59页 |
| ·移相法基本原理 | 第51-52页 |
| ·移相算法 | 第52-55页 |
| ·移相方法 | 第55-56页 |
| ·位相解包 | 第56-58页 |
| ·干涉条纹处理的数值模拟 | 第58-59页 |
| ·主要的误差源 | 第59-70页 |
| ·系统误差 | 第60-66页 |
| ·随机误差 | 第66-70页 |
| ·理论精度 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 4 系统误差标定方法 | 第72-94页 |
| ·引言 | 第72页 |
| ·系统误差标定原理 | 第72-77页 |
| ·绝对测量方法 | 第72-74页 |
| ·“零位”检测方法 | 第74-76页 |
| ·新的“零位”检测结构 | 第76-77页 |
| ·计算机辅助光斑对准 | 第77-83页 |
| ·点衍射干涉仪中计算机辅助对准方法 | 第77-78页 |
| ·基于实时衍射图像的计算机辅助对准 | 第78-82页 |
| ·“零位”检测中衍射孔的对准步骤 | 第82-83页 |
| ·几何结构误差 | 第83-93页 |
| ·几何结构误差的来源 | 第83-84页 |
| ·Zernike 多项式拟合 | 第84-85页 |
| ·几何结构误差去除 | 第85-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 5 系统误差标定实验 | 第94-105页 |
| ·系统误差标定实验系统 | 第94-95页 |
| ·实验结果 | 第95-99页 |
| ·单次测量 | 第95-98页 |
| ·多次平均去噪声 | 第98-99页 |
| ·实验结果分析 | 第99-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 6 面形检测实验 | 第105-117页 |
| ·实验系统结构 | 第105-106页 |
| ·实验结果 | 第106-113页 |
| ·ZYGO 干涉仪测量结果 | 第106-107页 |
| ·实验系统测量结果 | 第107-113页 |
| ·实验分析 | 第113-115页 |
| ·误差分析 | 第115-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 7 总结与展望 | 第117-120页 |
| ·总结 | 第117-118页 |
| ·主要的创新点 | 第118-119页 |
| ·研究展望 | 第119-120页 |
| 8 参考文献 | 第120-124页 |
| 9 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第124-125页 |
