一种新型硅微加速度计的设计与制造工艺研究
| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| ·课题的研究背景与意义 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-19页 |
| ·国外微加速度计研究现状 | 第13-17页 |
| ·国内微加速度计研究现状 | 第17-19页 |
| 第二章 加速度计结构设计 | 第19-32页 |
| ·加速度计的整体结构设计 | 第19-22页 |
| ·硅-玻璃结构的确定 | 第19-20页 |
| ·梁-质量块结构的选择 | 第20-21页 |
| ·片上匹配电容结构的考虑 | 第21-22页 |
| ·加速度计的力学模型及仿真 | 第22-27页 |
| ·开环加速度计的灵敏度 | 第22-25页 |
| ·加速度计的频率响应 | 第25-27页 |
| ·结构参数的确定 | 第27-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 加速度计的制作工艺 | 第32-43页 |
| ·主要工艺流程 | 第32-36页 |
| ·梁-质量块加工工艺 | 第32-34页 |
| ·玻璃衬底加工工艺 | 第34-36页 |
| ·工艺中的关键问题 | 第36-42页 |
| ·双面梁制作的一般方法 | 第37-38页 |
| ·三角形截面梁的腐蚀工艺 | 第38-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 电容检测电路设计 | 第43-58页 |
| ·信号检测电路方案 | 第43-47页 |
| ·电路类型的确定 | 第43-44页 |
| ·载波的类型与驱动方式 | 第44-47页 |
| ·电路模块的设计 | 第47-55页 |
| ·差分放大模块设计 | 第47-51页 |
| ·解调和移相模块设计 | 第51-53页 |
| ·末端低通滤波模块设计 | 第53-55页 |
| ·影响电路性能的因素 | 第55-57页 |
| ·移相电路的精度 | 第55-56页 |
| ·电荷放大器不一致 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 加速度计的性能测试与误差分析 | 第58-70页 |
| ·重力场静态翻滚试验 | 第58-60页 |
| ·测试方法 | 第58页 |
| ·测试结果 | 第58-60页 |
| ·非线性度 | 第60-62页 |
| ·变间距检测的理论非线性 | 第60-61页 |
| ·测试结果 | 第61-62页 |
| ·零偏稳定性 | 第62-63页 |
| ·误差分析 | 第63-69页 |
| ·微加速度计的制造误差 | 第63-67页 |
| ·微加速度计的噪声 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·全文总结 | 第70页 |
| ·工作展望 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第78页 |
