单片三轴微加速度计关键技术研究
| 摘要 | 第1-11页 |
| Abstract | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| ·课题研究背景与意义 | 第12-13页 |
| ·三轴微加速度计的研究现状与发展趋势 | 第13-20页 |
| ·三轴微加速度计的国外研究现状 | 第13-17页 |
| ·三轴微加速度计的国内研究现状 | 第17-19页 |
| ·微加速度计的发展趋势 | 第19-20页 |
| ·论文主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 单片三轴微加速度计的总体设计 | 第22-36页 |
| ·设计任务及要求 | 第22-23页 |
| ·三轴微加速度计总体方案 | 第23-30页 |
| ·等效理论模型 | 第24-26页 |
| ·与现有结构的比较 | 第26页 |
| ·静态灵敏度分析 | 第26-28页 |
| ·ANSYS 仿真验证 | 第28-29页 |
| ·三轴加速度解算 | 第29-30页 |
| ·微加速度计动态特性分析 | 第30-33页 |
| ·微加速度计幅频特性分析 | 第30-32页 |
| ·微加速度计相频特性分析 | 第32页 |
| ·微加速度计带宽设计 | 第32-33页 |
| ·微加速度计结构尺寸确定 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 单片三轴微加速度计加工工艺研究 | 第36-47页 |
| ·微加速度计主要工艺流程 | 第36页 |
| ·关键加工工艺研究 | 第36-45页 |
| ·硅结构加工工艺 | 第37-38页 |
| ·金属电极制作 | 第38-39页 |
| ·玻璃-硅-玻璃键合技术 | 第39-42页 |
| ·划片与封装 | 第42-45页 |
| ·工艺的关键问题与解决方案 | 第45-46页 |
| ·金属电极可靠性 | 第45页 |
| ·凸角补偿方案 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 单片三轴微加速度计的性能测试与误差分析 | 第47-64页 |
| ·微加速度计检测电路 | 第47-48页 |
| ·微加速度计性能测试 | 第48-56页 |
| ·模态测试试验 | 第48-50页 |
| ·输出稳定性测试 | 第50-51页 |
| ·重力场翻滚试验 | 第51-56页 |
| ·微加速度计非线性度 | 第56页 |
| ·微加速度计主要误差分析 | 第56-58页 |
| ·加工工艺误差 | 第56-58页 |
| ·交叉轴耦合 | 第58页 |
| ·微加速度计主要噪声分析 | 第58-63页 |
| ·机械热噪声 | 第58-61页 |
| ·电路噪声 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·全文总结 | 第64页 |
| ·工作展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第71页 |
