| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·国内外红外增透与保护膜材料的发展 | 第9-14页 |
| ·Ge_xC_(1-x)薄膜的制备方法 | 第14-15页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第15-16页 |
| 第2章 Ge_xC_(1-x)薄膜的制备及试验方法 | 第16-25页 |
| ·Ge_xC_(1-x)薄膜的制备系统及原理 | 第16-22页 |
| ·Ge_xC_(1-x)薄膜的制备 | 第22-23页 |
| ·Ge_xC_(1-x)薄膜结构及性能的表征方法 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 锗、碳薄膜结构及性质研究 | 第25-40页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·锗、碳薄膜的Raman光谱分析 | 第25-34页 |
| ·锗薄膜的力学性质分析 | 第34-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 Ge_xC_(1-x)薄膜结构及性能研究 | 第40-57页 |
| ·Ge_xC_(1-x)薄膜的组分分析 | 第40-44页 |
| ·Ge_xC_(1-x)薄膜的结构分析 | 第44-50页 |
| ·Ge_xC_(1-x)薄膜的透过率与折射率 | 第50-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 个人简历 | 第65页 |