Love波传感器及其参数研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-27页 |
| ·声波传感器及其发展[1-2] | 第11-16页 |
| ·Love 波传感器的研究现状及应用领域 | 第16-24页 |
| ·本论文的研究背景和主要研究内容及其意义 | 第24页 |
| ·本论文的内容结构安排 | 第24-27页 |
| 第2章 Love 波传感器的理论基础 | 第27-63页 |
| ·晶体结构及压电效应[61-62] | 第27-31页 |
| ·Love 波传感器理论分析 | 第31-39页 |
| ·Love 波传感器关键参数分析 | 第39-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第3章 Love 波传感器的原理设计 | 第63-83页 |
| ·Love 波传感器的结构布局型式设计 | 第63-67页 |
| ·Love 波传感器的参数设计 | 第67-74页 |
| ·叉指换能器（IDT）的工作原理及设计 | 第74-81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 第4章 Love 波传感器的工艺制作 | 第83-97页 |
| ·材料选取 | 第83-86页 |
| ·IDT 工艺制作 | 第86-93页 |
| ·波导层制作 | 第93-94页 |
| ·晶片保护及器件分离 | 第94-95页 |
| ·引线及固定器件 | 第95-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 第5章 Love 波传感器的实验检测 | 第97-115页 |
| ·电学性能表征 | 第97-101页 |
| ·温度灵敏度测试 | 第101-105页 |
| ·质量灵敏度测试实验 | 第105-113页 |
| ·本章小结 | 第113-115页 |
| 第6章 结论与展望 | 第115-119页 |
| 参考文献 | 第119-125页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第125-127页 |
| 指导教师及作者简介 | 第127-129页 |
| 致谢 | 第129页 |
