ZnO紫外探测器的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第9-10页 |
| ·ZnO的应用 | 第10-12页 |
| ·太阳能电池 | 第10-11页 |
| ·光电子器件 | 第11页 |
| ·声表面波器件 | 第11-12页 |
| ·ZnO紫外探测器的研究概况 | 第12-16页 |
| ·光电导紫外探测器 | 第13-14页 |
| ·肖特基紫外探测器 | 第14页 |
| ·PN结型紫外探测器 | 第14-15页 |
| ·MgZnO基紫外探测器 | 第15-16页 |
| ·本论文研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 光电探测器的原理及分类 | 第17-27页 |
| ·光电探测器的原理 | 第17-21页 |
| ·外光电效应 | 第17-18页 |
| ·内光电效应 | 第18-21页 |
| ·光电探测器的分类 | 第21-27页 |
| ·光电子发射(PE)探测器 | 第21-22页 |
| ·光电导(PC)探测器 | 第22-24页 |
| ·光伏(PV)探测器 | 第24-27页 |
| 第三章 AZO薄膜的生长及分析 | 第27-46页 |
| ·AZO薄膜的生长 | 第27-30页 |
| ·实验设备及原理 | 第27-28页 |
| ·实验材料 | 第28-29页 |
| ·衬底的预处理 | 第29-30页 |
| ·实验参数及过程 | 第30页 |
| ·实验结果及分析 | 第30-45页 |
| ·Al浓度对AZO薄膜结构的影响 | 第30-33页 |
| ·退火处理对AZO薄膜结构的影响 | 第33-36页 |
| ·AZO薄膜的表面形貌及成分分析 | 第36-38页 |
| ·光学性能分析 | 第38-43页 |
| ·薄膜厚度 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第四章 紫外探测器的研制 | 第46-62页 |
| ·探测器的制备 | 第46-47页 |
| ·I-V特性分析 | 第47-50页 |
| ·光谱响应特性 | 第50-54页 |
| ·时间响应特性 | 第54-56页 |
| ·阵列探测器研究 | 第56-60页 |
| ·阵列探测器制作 | 第56-59页 |
| ·阵列探测器性能测试 | 第59-60页 |
| ·小结 | 第60-62页 |
| 第五章 结论 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第68页 |
