变面积差分电容式微机械加速度传感器的建模仿真
| 提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·微加速度传感器的分类 | 第8-12页 |
| ·压阻式微加速度传感器 | 第9-10页 |
| ·电容式加速度传感器 | 第10-11页 |
| ·谐振式微加速度传感器 | 第11-12页 |
| ·电容式微加速度计的研究概况 | 第12-17页 |
| ·微加速度传感器的研究历程 | 第12-14页 |
| ·电容式微加速度传感器的研究实例 | 第14-17页 |
| ·本论文的研究意义 | 第17-18页 |
| ·本论文的研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 电容式加速度计的设计方案和理论基础 | 第20-38页 |
| ·加速度计的力学原理 | 第20-22页 |
| ·加速度 | 第20-21页 |
| ·牛顿定律与达朗贝尔原理 | 第21-22页 |
| ·变面积差分电容式微加速计的工作原理 | 第22-24页 |
| ·平板电容的变面积理论 | 第22-23页 |
| ·差分电容式微加速度计的工作原理 | 第23-24页 |
| ·微速度计的结构设计 | 第24-31页 |
| ·弹簧梁的设计和敏感新片建模 | 第24-26页 |
| ·假设和简化 | 第26-27页 |
| ·可动质量块的位移 | 第27-29页 |
| ·电容变化与加速度的关系 | 第29-30页 |
| ·折叠梁的失效分析 | 第30-31页 |
| ·主要性能指标 | 第31-35页 |
| ·固有频率 | 第31页 |
| ·量程 | 第31-32页 |
| ·灵敏度 | 第32-33页 |
| ·阻尼 | 第33-35页 |
| ·结构参数的理论优化 | 第35-38页 |
| 第三章 微加速度计的有限元仿真和优化 | 第38-59页 |
| ·有限元法与 ANSYS 软件 | 第38-41页 |
| ·折叠梁结构静力分析 | 第41-48页 |
| ·结构静力学有限元分析原理 | 第41页 |
| ·折叠梁的结构静力分析 | 第41-44页 |
| ·加速度计的结构静力分析 | 第44-48页 |
| ·微加速度计的结构动力学分析 | 第48-57页 |
| ·动力学有限元分析原理 | 第48-49页 |
| ·模态分析理论概述 | 第49-50页 |
| ·微加速度计的模态分析 | 第50-56页 |
| ·微加速度计的谐响应分析 | 第56-57页 |
| ·微加速度计的结构优化 | 第57-59页 |
| 第四章 结论 | 第59-62页 |
| ·全文总结 | 第59-61页 |
| ·工作展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 摘要 | 第66-68页 |
| Abstract | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
