高精度镱薄膜高压力传感器的制备

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第一章 前言	第9-22页
·应用背景及意义	第9-12页
·国内外研究进展	第12-16页
·镱的压阻特性	第16-19页
·影响压阻系数的因素	第19-22页
第二章 镱薄膜传感器结构设计	第22-32页
·冲击波在介质中的传播过程	第22-24页
·“埋入式”镱传感器的靶结构设计	第24-26页
·靶的设计	第26-29页
·敏感元件结构设计	第29-31页
·封装材料的选择	第31-32页
第三章 镱薄膜传感器的制备工艺	第32-42页
·薄膜沉积方法选择	第32页
·工艺流程	第32-33页
·敏感薄膜制备与分析	第33-39页
·传感器封装和靶装配	第39-42页
第四章 动态高压测试	第42-52页
·动态高压测试原理	第42-44页
·压力计算	第44页
·测试结果与分析	第44-52页
第五章 高阻型镱传感器的初步探索	第52-57页
·应用背景	第52页
·制作方法的选择	第52-53页
·涂胶工艺	第53页
·刻蚀液配方	第53-54页
·光刻工艺流程	第54-55页
·铜薄膜电极的制备	第55-57页
第六章 结论与展望	第57-58页
·结论	第57页
·有待深入研究的问题	第57-58页
参考文献	第58-62页
致谢	第62-63页
攻读硕士学位期间的研究成果	第63-64页