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高精度镱薄膜高压力传感器的制备

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 前言第9-22页
   ·应用背景及意义第9-12页
   ·国内外研究进展第12-16页
   ·镱的压阻特性第16-19页
   ·影响压阻系数的因素第19-22页
第二章 镱薄膜传感器结构设计第22-32页
   ·冲击波在介质中的传播过程第22-24页
   ·“埋入式”镱传感器的靶结构设计第24-26页
   ·靶的设计第26-29页
   ·敏感元件结构设计第29-31页
   ·封装材料的选择第31-32页
第三章 镱薄膜传感器的制备工艺第32-42页
   ·薄膜沉积方法选择第32页
   ·工艺流程第32-33页
   ·敏感薄膜制备与分析第33-39页
   ·传感器封装和靶装配第39-42页
第四章 动态高压测试第42-52页
   ·动态高压测试原理第42-44页
   ·压力计算第44页
   ·测试结果与分析第44-52页
第五章 高阻型镱传感器的初步探索第52-57页
   ·应用背景第52页
   ·制作方法的选择第52-53页
   ·涂胶工艺第53页
   ·刻蚀液配方第53-54页
   ·光刻工艺流程第54-55页
   ·铜薄膜电极的制备第55-57页
第六章 结论与展望第57-58页
   ·结论第57页
   ·有待深入研究的问题第57-58页
参考文献第58-62页
致谢第62-63页
攻读硕士学位期间的研究成果第63-64页

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