| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·ZnO材料的结构和基本特性 | 第10-13页 |
| ·ZnO的结构 | 第10-11页 |
| ·ZnO材料的基本特性 | 第11-13页 |
| ·ZnO薄膜掺杂及器件研究进展 | 第13-18页 |
| ·ZnO薄膜的主要生长方法 | 第13-15页 |
| ·ZnO薄膜p型掺杂的研究进展 | 第15-16页 |
| ·ZnO器件的研究进展 | 第16-18页 |
| ·ZnO材料的应用前景 | 第18-21页 |
| ·ZnO压电方面的应用 | 第18页 |
| ·与GaN互作缓冲层 | 第18-19页 |
| ·制作紫外光探测器 | 第19页 |
| ·ZnOLED和LD | 第19-20页 |
| ·透明电极及太阳能电池 | 第20页 |
| ·制作表面声波器件 | 第20-21页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第21-22页 |
| 2 材料的制备与相关测试方法 | 第22-32页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第22-27页 |
| ·超声喷雾热分解法 | 第22-23页 |
| ·金属有机化学气相沉积(MOCVD) | 第23-27页 |
| ·测试方法 | 第27-32页 |
| ·Hall效应测试 | 第27-29页 |
| ·光致发光谱(PL)测试 | 第29页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第29-30页 |
| ·透射光谱 | 第30-31页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第31-32页 |
| 3 p型ZnO的超声喷雾热分解法制备与光电性能研究 | 第32-43页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·薄膜生长方法的选择 | 第32页 |
| ·衬底的选择 | 第32页 |
| ·掺杂元素的选择 | 第32-33页 |
| ·USP法前驱体溶液的热分解过程与薄膜沉积模式 | 第33-35页 |
| ·银掺杂p-型ZnO薄膜的晶体结构和光电性能 | 第35-38页 |
| ·氮-银共掺杂p型ZnO薄膜的晶体结构和光电性能 | 第38-41页 |
| ·小结 | 第41-43页 |
| 结论 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-49页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |