新型三维敏感气体传感器的结构设计与性能分析

摘要	第1-7页
Abstract	第7-11页
第1章 引言	第11-25页
·研究背景	第11-13页
·气体传感器	第13-24页
·气体传感器分类与原理	第13-19页
·提高气敏传感器性能的技术途径	第19-24页
·研究内容及文章结构	第24-25页
第2章 新型三维敏感气敏传感器的结构设计	第25-36页
·MEMS技术	第25-29页
·表面加工技术	第26页
·体加工技术	第26-28页
·LIGA技术	第28-29页
·微平面电极式器件结构简介	第29-32页
·微电极传感器电极结构分析	第30-31页
·微电极的制备	第31页
·微电极器件结构与膜厚的关系	第31-32页
·新型三维敏感气体传感器的结构设计	第32-35页
·离散半圆柱阵列器件结构	第32-33页
·离散长方体阵列器件结构	第33-34页
·新型器件结构分析	第34-35页
·本章小结	第35-36页
第3章 离散半圆柱阵列结构传感器性能分析	第36-46页
·气敏传感器扩散敏感机理分析	第36-38页
·气敏传感器敏感膜响应分析	第38-41页
·连续平面型单元	第39-40页
·独立半圆柱单元	第40-41页
·气体传感器响应时间性能分析	第41-45页
·本章小结	第45-46页
第4章 离散长方体阵列结构传感器性能分析	第46-55页
·离散长方体阵列的响应分析	第46-50页
·长方体阵列间隙中的气体浓度	第47-48页
·侧面扩散引起长方体阵列电导的变化	第48-50页
·气体传感器响应时间性能分析	第50-54页
·离散长方体阵列器件响应时间分析	第50-52页
·敏感膜厚度对气体传感器响应时间的影响	第52-54页
·两种新型结构传感器的性能比较	第54页
·本章小结	第54-55页
结论	第55-57页
致谢	第57-58页
参考文献	第58-62页
攻读硕士学位期间发表的论文	第62页