用于微质量传感的薄膜体声波谐振器的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 论文研究内容及章节安排 | 第13-15页 |
| 1.3.1 论文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 1.3.2 全文章节安排 | 第14-15页 |
| 第二章 FBAR基础及工作原理 | 第15-26页 |
| 2.1 FBAR基础介绍 | 第15-20页 |
| 2.2 FBAR工作原理 | 第20-21页 |
| 2.3 影响FBAR器件性能的因素 | 第21-24页 |
| 2.3.1 FBAR结构对器件性能的影响 | 第21-22页 |
| 2.3.2 压电薄膜材料对FBAR器件性能的影响 | 第22-23页 |
| 2.3.3 电极对FBAR器件性能的影响 | 第23-24页 |
| 2.4 衡量FBAR性能的常见重要参数 | 第24-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 用于微质量传感的FBAR的设计与分析 | 第26-42页 |
| 3.1 SMR-FBAR的设计及仿真 | 第26-32页 |
| 3.2 SU8-FBAR设计及仿真 | 第32-38页 |
| 3.3 背腔刻蚀型FBAR的设计及仿真 | 第38-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 FBAR微质量传感器的制备与测试 | 第42-55页 |
| 4.1 掩膜版的设计 | 第42页 |
| 4.2 光刻工艺流程介绍 | 第42-45页 |
| 4.3 背腔刻蚀型FBAR的制备工艺流程 | 第45-49页 |
| 4.4 FBAR微质量传感器的测试 | 第49-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 论文的主要研究内容 | 第55-56页 |
| 5.2 论文的不足之处及下一步工作展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 攻读硕士期间的主要研究工作及所取得的研究成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
