| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 课题目的及意义 | 第10页 |
| 1.2 真空退火炉的发展状况 | 第10-11页 |
| 1.3 温度控制系统中的智能算法 | 第11-13页 |
| 1.4 论文的主要内容 | 第13页 |
| 1.5 本章小结 | 第13-14页 |
| 第2章 热处理的发展与工艺分析 | 第14-20页 |
| 2.1 热处理 | 第14-16页 |
| 2.1.1 热处理的发展历史 | 第14-15页 |
| 2.1.2 热处理工艺过程 | 第15-16页 |
| 2.2 退火 | 第16页 |
| 2.3 退火的工艺过程 | 第16-17页 |
| 2.4 真空方法 | 第17-18页 |
| 2.5 本章小结 | 第18-20页 |
| 第3章 真空退火炉温度控制模型分析 | 第20-40页 |
| 3.1 真空退火炉介绍 | 第20-28页 |
| 3.1.1 真空退火炉结构及特点 | 第20-28页 |
| 3.1.2 真空退火炉主要技术参数 | 第28页 |
| 3.2 真空退火炉控制需求分析 | 第28-29页 |
| 3.3 系统硬件结构设计 | 第29-34页 |
| 3.3.1 加热控制硬件组成 | 第30-32页 |
| 3.3.2 多总线结构系统组成 | 第32-33页 |
| 3.3.3 多总线控制系统的实现 | 第33-34页 |
| 3.4 系统模型的建立 | 第34-39页 |
| 3.4.1 退火炉温度控制模型的建立 | 第34-37页 |
| 3.4.2 温度控制系数辨识 | 第37-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 真空退火炉温度控制策略分析 | 第40-56页 |
| 4.1 系统理论应用 | 第40-47页 |
| 4.1.1 PID控制基本原理 | 第40-45页 |
| 4.1.2 模糊控制简介 | 第45-47页 |
| 4.2 真空退火炉温度控制的分析 | 第47-55页 |
| 4.2.1 真空退火炉采用变参数自整定模糊PID控制的可行性 | 第47-48页 |
| 4.2.2 真空退火炉温度精准控制的实现 | 第48-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 温度控制系统实验与结果分析 | 第56-62页 |
| 5.1 空载加热测试 | 第56页 |
| 5.2 烘炉调试分析 | 第56-57页 |
| 5.3 系统运行结果与分析 | 第57-61页 |
| 5.3.1 温度控制精度测试分析 | 第57-59页 |
| 5.3.2 真空退火炉温度稳定性的测试分析 | 第59-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第6章 结论与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 本文结论 | 第62页 |
| 6.2 未来的研究方向 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |