| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 压电能量收集器的研究现状 | 第9-16页 |
| 1.3 本文的研究目的与研究内容 | 第16-17页 |
| 2 固支梁宽频压电振动能量收集器的设计与仿真分析 | 第17-31页 |
| 2.1 压电能量收集器材料及工作原理 | 第17-20页 |
| 2.2 压电能量收集器的结构设计及分析 | 第20-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 固支梁宽频压电振动能量收集器的制备 | 第31-41页 |
| 3.1 能量收集器的制备工艺 | 第31-35页 |
| 3.1.1 掩膜版设计 | 第31-33页 |
| 3.1.2 制备的工艺流程 | 第33-35页 |
| 3.2 PZT薄膜制备及相关工艺研究 | 第35-40页 |
| 3.2.1 PZT压电薄膜制备 | 第35-37页 |
| 3.2.2 PZT薄膜的腐蚀图形化 | 第37-39页 |
| 3.2.3 引线和安装 | 第39-40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 固支梁宽频压电振动能量收集器的性能测试与分析 | 第41-57页 |
| 4.1 单斜相PZT薄膜性能测试与分析 | 第41-48页 |
| 4.2 压电振动能量收集器的静态性能测试与分析 | 第48-51页 |
| 4.3 固支梁宽频压电振动能量收集器的输出性能测试与分析 | 第51-56页 |
| 4.3.1 测试系统搭建 | 第51-52页 |
| 4.3.2 开环输出测试 | 第52-55页 |
| 4.3.3 闭环输出测试 | 第55-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |