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固支梁宽频压电振动能量收集器的研制

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
1 绪论第8-17页
    1.1 研究的背景和意义第8-9页
    1.2 压电能量收集器的研究现状第9-16页
    1.3 本文的研究目的与研究内容第16-17页
2 固支梁宽频压电振动能量收集器的设计与仿真分析第17-31页
    2.1 压电能量收集器材料及工作原理第17-20页
    2.2 压电能量收集器的结构设计及分析第20-30页
    2.3 本章小结第30-31页
3 固支梁宽频压电振动能量收集器的制备第31-41页
    3.1 能量收集器的制备工艺第31-35页
        3.1.1 掩膜版设计第31-33页
        3.1.2 制备的工艺流程第33-35页
    3.2 PZT薄膜制备及相关工艺研究第35-40页
        3.2.1 PZT压电薄膜制备第35-37页
        3.2.2 PZT薄膜的腐蚀图形化第37-39页
        3.2.3 引线和安装第39-40页
    3.3 本章小结第40-41页
4 固支梁宽频压电振动能量收集器的性能测试与分析第41-57页
    4.1 单斜相PZT薄膜性能测试与分析第41-48页
    4.2 压电振动能量收集器的静态性能测试与分析第48-51页
    4.3 固支梁宽频压电振动能量收集器的输出性能测试与分析第51-56页
        4.3.1 测试系统搭建第51-52页
        4.3.2 开环输出测试第52-55页
        4.3.3 闭环输出测试第55-56页
    4.4 本章小结第56-57页
结论第57-58页
参考文献第58-62页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第62-63页
致谢第63-64页

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