MBE法高质量VO2薄膜生长及其特性研究
| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 引言 | 第7-8页 |
| 1 研究背景 | 第8-25页 |
| 1.1 VO_2材料的基本性质及其相变机制 | 第8-12页 |
| 1.2 VO_2材料的基本应用 | 第12-17页 |
| 1.3 VO_2薄膜的制备 | 第17-22页 |
| 1.4 VO_2材料的研究进展及存在问题 | 第22-23页 |
| 1.5 论文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 2 本文采用的制备方法与表征手段 | 第25-32页 |
| 2.1 分子束外延法(MBE) | 第25-26页 |
| 2.2 表征手段 | 第26-32页 |
| 3 蓝宝石衬底VO_2薄膜的THz特性研究 | 第32-39页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 样品制备及表征 | 第32-33页 |
| 3.3 实验结果与表征分析 | 第33-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 石英玻璃衬底VO_2薄膜的特性研究 | 第39-51页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 样品制备及其表征 | 第39-40页 |
| 4.3 实验结果与表征分析 | 第40-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 5 蓝宝石衬底VO_2薄膜的稳定性研究 | 第51-60页 |
| 5.1 引言 | 第51页 |
| 5.2 样品制备及表征 | 第51-52页 |
| 5.3 实验结果与表征分析 | 第52-59页 |
| 5.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第70-71页 |
| 攻读硕士学位期间荣获奖励情况 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
