| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究进展 | 第11-15页 |
| 1.3 本文研究的主要内容及创新点 | 第15-16页 |
| 第2章 双波长相移技术理论 | 第16-27页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 相移干涉理论 | 第16-21页 |
| 2.2.1 光干涉的基本理论 | 第16-18页 |
| 2.2.2 相移干涉测量的基本理论 | 第18-20页 |
| 2.2.3 相位解包裹原理 | 第20-21页 |
| 2.3 双波长相移干涉理论 | 第21-24页 |
| 2.4 改进的双波长干涉系统原理 | 第24-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 基于全反射棱镜结构的双波长M-Z干涉系统设计 | 第27-40页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 光学系统参数 | 第27-28页 |
| 3.3 整体光路设计 | 第28-34页 |
| 3.3.1 扩束准直系统设计 | 第28-29页 |
| 3.3.2 成像系统设计 | 第29-31页 |
| 3.3.3 系统设计 | 第31-34页 |
| 3.4 其他硬件的选择 | 第34-38页 |
| 3.4.1 激光器参数选择 | 第34-35页 |
| 3.4.2 CCD的选择 | 第35-36页 |
| 3.4.3 压电陶瓷驱动器PZT的选择 | 第36-38页 |
| 3.5 装调方案及过程 | 第38-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 测量系统数据处理及实验验证 | 第40-54页 |
| 4.1 干涉图像数据处理原理 | 第40-48页 |
| 4.1.1 获取灰度均值序列 | 第40页 |
| 4.1.2 计算初相位 | 第40-47页 |
| 4.1.3 计算绝对高度 | 第47-48页 |
| 4.1.4 恢复三维形貌 | 第48页 |
| 4.2 实验验证与分析 | 第48-53页 |
| 4.2.1 实验验证 | 第49-52页 |
| 4.2.2 误差分析 | 第52-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |