| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 引言 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 超精密位移测量技术的研究背景 | 第7-8页 |
| 1.2 电容式位移传感器的研究背景 | 第8页 |
| 1.3 计算电容的研究背景 | 第8-9页 |
| 1.4 立式可移动屏蔽型计算电容简介 | 第9-11页 |
| 1.5 课题研究的目的和意义 | 第11-12页 |
| 1.6 论文的主要研究内容和方法 | 第12-13页 |
| 第二章 计算电容主电极的安装和初始定位调整 | 第13-20页 |
| 2.1 计算电容主体机械结构介绍 | 第13-16页 |
| 2.1.1 计算电容主体结构的关键参数 | 第13-15页 |
| 2.1.2 计算电容主电极的关键参数 | 第15-16页 |
| 2.2 计算电容主电极的安装 | 第16-18页 |
| 2.2.1 主电极的底端安装 | 第17-18页 |
| 2.2.2 主电极的顶端安装 | 第18页 |
| 2.3 主电极的初始定位调整 | 第18-20页 |
| 第三章 用于主电极精确定位的电容传感器设计方案 | 第20-42页 |
| 3.1 电容式位移传感器位移测量原理 | 第20-21页 |
| 3.2 电容式位移传感器误差分析 | 第21-22页 |
| 3.2.1 影响电容式位移传感器产生测量误差的主要因素 | 第21-22页 |
| 3.2.2 防止和减小干扰的有效措施 | 第22页 |
| 3.3 测主电极平行度电容传感器设计方案 | 第22-31页 |
| 3.3.1 设计方案的理论基础 | 第22-23页 |
| 3.3.2 设计方案的整体构想 | 第23-24页 |
| 3.3.3 设计方案的工作原理 | 第24-26页 |
| 3.3.4 各零部件的具体设计方案 | 第26-31页 |
| 3.4 测主电极间距电容传感器设计方案 | 第31-42页 |
| 3.4.1 设计方案的理论基础 | 第31-32页 |
| 3.4.2 设计方案的整体构想 | 第32-35页 |
| 3.4.3 设计方案的工作原理 | 第35-36页 |
| 3.4.4 各零部件的具体设计方案 | 第36-42页 |
| 第四章 用于电容值精确测量的精密阻抗测量系统 | 第42-52页 |
| 4.1 交流阻抗精密测量的基本原理 | 第42-44页 |
| 4.1.1 电压矢量比较法 | 第42页 |
| 4.1.2 阻抗快速比较测量方法 | 第42-43页 |
| 4.1.3 基于整周期采样的幅值和相位计算方法 | 第43-44页 |
| 4.2 精密阻抗测量系统的硬件设计 | 第44-47页 |
| 4.2.1 测量系统与电容传感器之间的接线盒设计 | 第44-45页 |
| 4.2.2 测量系统的总体结构 | 第45-46页 |
| 4.2.3 中心点虚地电位的获取 | 第46-47页 |
| 4.2.4 电容补偿 | 第47页 |
| 4.2.5 同步采样的实现 | 第47页 |
| 4.3 精密阻抗测量系统的软件设计 | 第47-52页 |
| 4.3.1 LabVIEW软件介绍 | 第47-48页 |
| 4.3.2 精密阻抗测量系统软件部分的具体设计方案 | 第48-52页 |
| 第五章 计算电容主电极的精确定位安装实验 | 第52-56页 |
| 5.1 实验平台的搭建 | 第52-53页 |
| 5.1.1 测主电极平行度的实验平台搭建 | 第52页 |
| 5.1.2 测主电极间距的实验平台搭建 | 第52-53页 |
| 5.2 初始测量数据结果、分析及调整方案 | 第53页 |
| 5.3 最终测量数据结果及分析 | 第53-56页 |
| 5.3.1 测主电极相互之间的平行度传感器的实验结果 | 第54页 |
| 5.3.2 测主电极相互间距传感器的实验结果 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
