大行程精密定位平台偏摆误差分析及补偿方法研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-20页 |
| 1.2.1 大行程精密定位系统的研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 误差补偿技术的发展状况 | 第14-17页 |
| 1.2.3 误差检定方法的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.4 微位移补偿机构的研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3 定位平台性能综述 | 第20-22页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 偏摆误差分析及模型的建立 | 第24-36页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 定位平台的几何误差分析及建模 | 第24-28页 |
| 2.2.1 X 轴定位平台的几何误差分析 | 第25-26页 |
| 2.2.2 Y 轴定位平台的几何误差分析 | 第26-27页 |
| 2.2.3 定位平台的综合偏摆误差 | 第27-28页 |
| 2.3 偏摆振动模型的建立 | 第28-32页 |
| 2.3.1 X 轴运动平台偏摆振动分析 | 第29-31页 |
| 2.3.2 Y 轴运动平台偏摆振动分析 | 第31-32页 |
| 2.3.3 定位平台的综合偏摆振动 | 第32页 |
| 2.4 偏摆振动固有频率计算 | 第32-34页 |
| 2.5 偏摆振动运动幅值研究 | 第34-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 偏摆误差检测方法研究 | 第36-46页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 电容传感器检测原理 | 第36-39页 |
| 3.3 平尺的设计及误差分析 | 第39-41页 |
| 3.3.1 平尺设计 | 第39-40页 |
| 3.3.2 平尺的误差分析 | 第40-41页 |
| 3.4 偏摆误差检测模型 | 第41-44页 |
| 3.4.1 X 轴偏摆误差检测模型 | 第41-42页 |
| 3.4.2 Y 轴偏摆误差检测模型 | 第42-43页 |
| 3.4.3 定位平台综合偏摆误差检测模型 | 第43-44页 |
| 3.5 误差补偿控制方法研究 | 第44页 |
| 3.5.1 误差补偿原理 | 第44页 |
| 3.5.2 误差补偿系统的切换阀值 | 第44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 偏摆误差微动补偿平台的研究 | 第46-61页 |
| 4.1 引言 | 第46-47页 |
| 4.2 微动误差补偿平台的设计 | 第47-50页 |
| 4.3 微动误差补偿系统数学模型的建立 | 第50-52页 |
| 4.3.1 压电陶瓷的建模 | 第50-51页 |
| 4.3.2 微动平台的建模 | 第51-52页 |
| 4.4 仿真分析 | 第52-58页 |
| 4.4.1 微动误差补偿平台的静态特性分析 | 第52-55页 |
| 4.4.2 微动误差补偿平台的动态特性分析 | 第55-56页 |
| 4.4.3 微动误差补偿平台的综合性能分析 | 第56-58页 |
| 4.5 压电陶瓷迟滞前馈控制算法研究 | 第58-60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 精密定位系统实验研究 | 第61-71页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 精密定位系统组成原理 | 第61-63页 |
| 5.3 补偿平台实验研究 | 第63-66页 |
| 5.3.1 位移分辨率及行程测试 | 第63-64页 |
| 5.3.2 位移耦合度 | 第64-65页 |
| 5.3.3 重复定位精度 | 第65-66页 |
| 5.3.4 响应特性 | 第66页 |
| 5.4 偏摆误差补偿实验研究 | 第66-70页 |
| 5.4.1 实验系统组成 | 第66-67页 |
| 5.4.2 偏摆误差微动补偿实验 | 第67-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 总结 | 第71-72页 |
| 6.2 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 攻读硕士学位期间科研成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
