| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-27页 |
| 1.1 传感器技术定义和组成 | 第10-12页 |
| 1.2 湿度和湿度传感器简介 | 第12-15页 |
| 1.3 湿度传感器发展现状 | 第15-16页 |
| 1.3.1 国外发展现状 | 第15-16页 |
| 1.3.2 国内发展现状 | 第16页 |
| 1.4 湿度传感器的性能参数 | 第16-17页 |
| 1.5 纳米复合金属氧化物及合成方法简介 | 第17-19页 |
| 1.6 湿敏材料感湿机理的基本理论 | 第19-24页 |
| 1.6.1 不同材料的感湿机理 | 第19-21页 |
| 1.6.2 电阻型湿敏材料感湿机理的分析方法 | 第21-24页 |
| 1.7 固体电介质的电导 | 第24-26页 |
| 1.8 本论文的主要工作 | 第26-27页 |
| 第二章 基于钛酸钠的湿度传感器和湿敏特性 | 第27-37页 |
| 2.1 实验过程 | 第28-32页 |
| 2.1.1 实验药品、试剂与实验仪器 | 第28-29页 |
| 2.1.2 钛酸钠一维纳米结构的制备 | 第29-30页 |
| 2.1.3 钛酸钠一维纳米结构的表征 | 第30-32页 |
| 2.2 湿敏元件的制作 | 第32-34页 |
| 2.3 湿敏元件的测试装置 | 第34-36页 |
| 2.3.1 湿度发生装置 | 第34-35页 |
| 2.3.2 湿度测试装置 | 第35-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 一维纳米结构钛酸钠湿敏特性研究和感湿机理分析 | 第37-53页 |
| 3.1 湿度传感器分析的基本理论 | 第37-45页 |
| 3.1.1 介电常数 | 第38-39页 |
| 3.1.2 极化强度 | 第39页 |
| 3.1.3 极化模型 | 第39-41页 |
| 3.1.4 复介电常数和介质损耗 | 第41-42页 |
| 3.1.5 弛豫现象和德拜弛豫方程 | 第42-43页 |
| 3.1.6 计漏导时的介质损耗 | 第43-45页 |
| 3.2 钛酸钠湿度传感器的特征参数 | 第45-48页 |
| 3.3 感湿机理分析 | 第48-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 基于 AlPO_4-5 分子筛的湿度传感器及其感湿机理研究 | 第53-61页 |
| 4.1 AlPO_4-5 分子筛的制备、表征 | 第54-56页 |
| 4.1.1 试剂与仪器 | 第54页 |
| 4.1.2 材料制备 | 第54-55页 |
| 4.1.3 材料表征 | 第55-56页 |
| 4.1.4 器件制备 | 第56页 |
| 4.2 湿敏特性 | 第56-58页 |
| 4.2.1 频率特性 | 第56-57页 |
| 4.2.2 湿滞特性 | 第57页 |
| 4.2.3 响应恢复特性 | 第57-58页 |
| 4.3 感湿机理 | 第58-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第69页 |