| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题来源及意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题的研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 蓝宝石材料特性 | 第10-11页 |
| 1.2.1 蓝宝石的各向异性 | 第10页 |
| 1.2.2 蓝宝石的光学性质 | 第10-11页 |
| 1.3 低能离子束刻蚀技术 | 第11页 |
| 1.4 低能离子束刻蚀技术的研究状况 | 第11-14页 |
| 1.4.1 国外研究情况 | 第11-13页 |
| 1.4.2 国内研究情况 | 第13-14页 |
| 1.5 本文主要研究内容和章节安排 | 第14-16页 |
| 1.5.1 本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 1.5.2 本文的章节安排 | 第15-16页 |
| 2 课题方案与可行性论证 | 第16-25页 |
| 2.1 课题的方案 | 第16-17页 |
| 2.2 课题的研究过程 | 第17-18页 |
| 2.3 所需的实验条件 | 第18-20页 |
| 2.4 实验参数的选取 | 第20-21页 |
| 2.5 方案的可行性论证 | 第21-23页 |
| 2.5.1 蓝宝石表面纳米结构的低能离子束辐照重复性实验 | 第21-23页 |
| 2.5.2 蓝宝石表面纳米结构的检测方法 | 第23页 |
| 2.6 本章小结 | 第23-25页 |
| 3 蓝宝石表面纳米结构的辐照制备实验 | 第25-42页 |
| 3.1 制备蓝宝石表面纳米结构不旋转时的影响因素研究 | 第25-33页 |
| 3.1.1 入射角度的影响规律研究 | 第25-27页 |
| 3.1.2 离子束束流密度的影响规律研究 | 第27-30页 |
| 3.1.3 离子束能量的影响规律研究 | 第30-32页 |
| 3.1.4 刻蚀时间的影响规律研究 | 第32-33页 |
| 3.2 制备蓝宝石表面纳米结构旋转时的影响因素研究 | 第33-41页 |
| 3.2.1 入射角度的影响规律研究 | 第33-36页 |
| 3.2.2 离子束束流密度的影响规律研究 | 第36-38页 |
| 3.2.3 离子束能量的影响规律研究 | 第38-39页 |
| 3.2.4 刻蚀时间的影响规律研究 | 第39-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 寻优实验 | 第42-52页 |
| 4.1 正交试验的安排 | 第42-43页 |
| 4.2 正交试验的结果与讨论 | 第43-48页 |
| 4.2.1 表面粗糙度结果与方差分析 | 第43-44页 |
| 4.2.2 表面纳米结构高度结果与方差分析 | 第44-46页 |
| 4.2.3 因素显著性水平分析 | 第46页 |
| 4.2.4 最佳实验参数的确定 | 第46-47页 |
| 4.2.5 实验结果讨论 | 第47-48页 |
| 4.2.6 最佳实验参数的验证实验 | 第48页 |
| 4.3 蓝宝石表面纳米结构光学性能研究 | 第48-50页 |
| 4.3.1 等效折射理论 | 第48-49页 |
| 4.3.2 实验结果的分析 | 第49-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 5 离子束刻蚀蓝宝石表面纳米结构的实验仿真 | 第52-59页 |
| 5.1 数学模型的建立 | 第52-54页 |
| 5.1.1 Sigmund离子溅射理论 | 第52-53页 |
| 5.1.2 数学模型 | 第53-54页 |
| 5.2 MATLAB下的仿真 | 第54-57页 |
| 5.2.1 表面微结构与入射角度的关系 | 第54-55页 |
| 5.2.2 低温条件下的仿真模拟 | 第55-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-59页 |
| 6 结论 | 第59-61页 |
| 6.1 结论 | 第59-60页 |
| 6.2 后期展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
