| 摘要 | 第11-12页 |
| Abstract | 第12-13页 |
| 论文中符号说明 | 第14-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-25页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第15-17页 |
| 1.1.1 谐振式传感器 | 第15-17页 |
| 1.1.2 微膜生化传感器的提出 | 第17页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第17-22页 |
| 1.2.1 微膜生化传感器概述 | 第17-20页 |
| 1.2.2 微膜生化传感器的研究现状 | 第20-22页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第22-25页 |
| 第2章 微膜生化传感器的结构及数值模拟 | 第25-39页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 微膜生化传感器的几何模型 | 第25-26页 |
| 2.3 微膜生化传感器有限元建模 | 第26-27页 |
| 2.3.1 模型建立与离散 | 第26-27页 |
| 2.3.2 施加载荷与边界条件 | 第27页 |
| 2.3.3 定义分析类型 | 第27页 |
| 2.4 液态介质对传感器动力学性能的影响 | 第27-33页 |
| 2.4.1 理论基础 | 第28-29页 |
| 2.4.2 数值模拟方法有效性验证 | 第29-30页 |
| 2.4.3 液态介质对微膜振型的影响 | 第30-31页 |
| 2.4.4 液态介质对传感器固有频率的影响 | 第31-32页 |
| 2.4.5 液体的密度对传感器固有频率的影响 | 第32-33页 |
| 2.5 传感器的尺寸对传感器动力学性能的影响 | 第33-37页 |
| 2.5.1 微膜厚度对传感器固有频率的影响 | 第33-34页 |
| 2.5.2 微膜半径对传感器固有频率的影响 | 第34-35页 |
| 2.5.3 传感器深度对传感器固有频率的影响 | 第35-37页 |
| 2.6 本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 吸附质量对传感器动态特性的影响 | 第39-49页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 理论基础 | 第39-41页 |
| 3.3 均布吸附质量对传感器动力学性能的影响 | 第41-42页 |
| 3.3.1 均布质量对微膜振型的影响 | 第41-42页 |
| 3.3.2 均布质量对传感器固有频率的影响 | 第42页 |
| 3.4 集中吸附质量对传感器动力学性能的影响 | 第42-47页 |
| 3.4.1 集中质量对微膜振型的影响 | 第42-44页 |
| 3.4.2 集中质量对传感器固有频率的影响 | 第44-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 残余应力对传感器动力学性能的影响 | 第49-57页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 理论基础 | 第49-51页 |
| 4.3 残余应力的处理方法 | 第51-52页 |
| 4.4 残余应力加载过程 | 第52页 |
| 4.5 无液体时残余应力对微膜固有频率的影响 | 第52-53页 |
| 4.6 有液体时残余应力对微膜固有频率的影响 | 第53-54页 |
| 4.7 残余应力对不同厚度微膜的影响 | 第54页 |
| 4.8 残余应力对含有吸附质量时传感器固有频率的影响 | 第54-55页 |
| 4.9 本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 微膜的层合结构对传感器动力学性能的影响 | 第57-63页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 理论基础 | 第57页 |
| 5.3 弹性模量比及密度比对传感器固有频率的影响 | 第57-60页 |
| 5.4 层合结构对固有频率的影响 | 第60-61页 |
| 5.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 结论与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 攻读硕士期间科研情况 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第74页 |