| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题来源及意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第11-16页 |
| 1.2.1 硬脆材料微结构表面超精密磨削加工 | 第11-14页 |
| 1.2.2 砂轮磨损主要形式 | 第14-16页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 砂轮磨损对菲涅尔微结构磨削加工精度的影响研究 | 第17-30页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 砂轮磨削菲涅尔微结构磨损形式分析 | 第17-21页 |
| 2.2.1 砂轮磨损的主要形式概述 | 第17-18页 |
| 2.2.2 砂轮磨削菲涅尔微结构磨损实验研究 | 第18-21页 |
| 2.3 砂轮磨损对菲涅尔微结构面形精度的影响分析 | 第21-27页 |
| 2.3.1 砂轮磨削菲涅尔微结构面形精度理论分析 | 第21-24页 |
| 2.3.2 砂轮磨削菲涅尔微结构面形精度实验研究 | 第24-27页 |
| 2.4 砂轮磨损对菲涅尔微结构表面粗糙度的影响分析 | 第27-29页 |
| 2.4.1 工件表面粗糙度 | 第27页 |
| 2.4.2 砂轮磨损对表面粗糙度的影响 | 第27-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 针对砂轮磨损的砂轮尖端角度优化实验研究 | 第30-46页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 V形树脂结合剂金刚石砂轮的精密修整 | 第30-32页 |
| 3.2.1 修整实验平台的搭建 | 第30-31页 |
| 3.2.2 修整实验的设计 | 第31-32页 |
| 3.3 不同尖角砂轮磨削菲涅尔微结构实验设计 | 第32-33页 |
| 3.4 不同尖角砂轮磨削性能分析 | 第33-41页 |
| 3.4.1 砂轮磨损量的分析 | 第33-37页 |
| 3.4.2 工件去除量的分析 | 第37-39页 |
| 3.4.3 磨削比的分析 | 第39-41页 |
| 3.5 不同尖角砂轮磨削工件表面质量分析 | 第41-44页 |
| 3.5.1 磨削菲涅尔微结构面形精度分析 | 第41-42页 |
| 3.5.2 磨削菲涅尔微结构表面粗糙度分析 | 第42-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 磨削工艺参数优化实验研究 | 第46-65页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 磨削工艺参数对磨削力的影响研究 | 第46-57页 |
| 4.2.1 磨削力 | 第46页 |
| 4.2.2 未变形磨屑最大厚度 | 第46-47页 |
| 4.2.3 磨削碳化硅直线槽实验 | 第47-49页 |
| 4.2.4 磨削实验及数据采集与处理 | 第49-53页 |
| 4.2.5 磨削工艺参数对磨削力的影响分析 | 第53-57页 |
| 4.3 磨削工艺参数对直线微槽加工质量的影响 | 第57-61页 |
| 4.3.1 磨削宽度对表面质量的影响 | 第57-59页 |
| 4.3.2 水平方向进给速度对表面质量的影响 | 第59-61页 |
| 4.4 菲涅尔微结构磨削工艺参数优化及验证 | 第61-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71页 |