| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-27页 |
| ·立题背景 | 第9-10页 |
| ·冶金法 | 第10-20页 |
| ·冶金法制备太阳能级多晶硅的发展历程 | 第10-13页 |
| ·冶金法制备太阳能级多晶硅的主要工艺路线 | 第13-20页 |
| ·真空感应熔炼 | 第20-23页 |
| ·真空感应熔炼的发展历程 | 第20-21页 |
| ·真空感应熔炼在多晶硅提纯中的应用 | 第21-23页 |
| ·定向凝固法 | 第23-26页 |
| ·定向凝固技术的发展历程 | 第23页 |
| ·多晶硅定向凝固的基本方法 | 第23-26页 |
| ·本文主要研究的目的及内容 | 第26-27页 |
| 2 实验原理与实验方法 | 第27-35页 |
| ·真空感应熔炼理论基础 | 第27-31页 |
| ·真空熔炼热力学 | 第27-29页 |
| ·真空熔炼动力学 | 第29-31页 |
| ·定向凝固法理论基础 | 第31-32页 |
| ·实验方法 | 第32-35页 |
| ·实验设备 | 第32-34页 |
| ·实验技术路线 | 第34-35页 |
| 3 多晶硅定向凝固过程中的热流传递研究 | 第35-45页 |
| ·概述 | 第35页 |
| ·实验方法 | 第35-37页 |
| ·实验结果与讨论 | 第37-44页 |
| ·定向凝固过程中硅熔体中的热流传递 | 第37-39页 |
| ·液固界面与加热器的相对位置 | 第39-40页 |
| ·液固界面与加热器不同相对位置下的晶体组织形貌 | 第40-41页 |
| ·不同位置下的热流分析及其对晶体形貌的影响 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 真空感应熔炼和定向凝固法除磷研究 | 第45-52页 |
| ·概述 | 第45页 |
| ·实验方法 | 第45-46页 |
| ·实验结果与讨论 | 第46-51页 |
| ·真空感应熔炼对多晶硅铸锭中磷杂质浓度的影响 | 第46-49页 |
| ·定向凝固过程对多晶硅铸锭中磷杂质浓度的影响 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 真空感应熔炼和定向凝固法除硅中其它挥发性杂质研究 | 第52-61页 |
| ·概述 | 第52页 |
| ·实验方法 | 第52-53页 |
| ·实验结果与讨论 | 第53-60页 |
| ·真空感应熔炼对铝、钙杂质浓度的影响 | 第53-55页 |
| ·定向凝固过程对多晶硅铸锭中铝、钙杂质浓度的影响 | 第55-57页 |
| ·铝、钙杂质在硅锭中分布的数学模型 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |