| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 湿度传感器的概况 | 第11-12页 |
| 1.2 纳米湿度传感器的研究进展 | 第12页 |
| 1.3 TIO_2纳米湿度传感器的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 TIO_2纳米湿度传感器的工作原理 | 第14-15页 |
| 1.5 湿度检测系统的研究进展 | 第15页 |
| 1.6 本论文的选题目的及意义 | 第15-16页 |
| 1.7 论文结构 | 第16-17页 |
| 第2章 TIO_2纳米湿度传感器的制备及其表征技术 | 第17-26页 |
| 2.1 TIO_2纳米湿度传感器的制备方法 | 第17-18页 |
| 2.1.1 溶胶-凝胶法 | 第17页 |
| 2.1.2 电化学生长法 | 第17-18页 |
| 2.1.3 水热法 | 第18页 |
| 2.2 实验材料与设备 | 第18-19页 |
| 2.2.1 实验材料 | 第18-19页 |
| 2.2.2 实验设备 | 第19页 |
| 2.3 TIO_2纳米湿度传感器的制备过程 | 第19-21页 |
| 2.3.1 叉指电极的制备 | 第19-20页 |
| 2.3.2 TIO_2纳米阵列的生长 | 第20-21页 |
| 2.4 表征技术 | 第21-23页 |
| 2.4.1 扫描电子显微镜 | 第21-22页 |
| 2.4.2 X射线衍射 | 第22-23页 |
| 2.5 TIO_2纳米湿度传感器的表征结果 | 第23-25页 |
| 2.5.1 TIO_2纳米湿度传感器的扫描电子显微镜表征结果分析 | 第23页 |
| 2.5.2 TIO_2纳米湿敏材料的X射线衍射表征结果分析 | 第23-25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 TIO_2纳米湿度传感器的湿敏特性 | 第26-33页 |
| 3.1 湿度源 | 第26-27页 |
| 3.2 TIO_2纳米湿度传感器的性能参数 | 第27-29页 |
| 3.2.1 感湿测量范围 | 第28页 |
| 3.2.2 灵敏度 | 第28页 |
| 3.2.3 响应特性 | 第28页 |
| 3.2.4 湿滞 | 第28-29页 |
| 3.3 阻湿特性分析 | 第29-30页 |
| 3.4 容湿特性分析 | 第30-32页 |
| 3.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 TIO_2纳米湿度传感系统的设计 | 第33-51页 |
| 4.1 系统的构成及原理 | 第33-34页 |
| 4.2 TIO_2纳米湿度检测系统的外围电路 | 第34-39页 |
| 4.2.1 信号转换电路 | 第34-36页 |
| 4.2.2 整形模块 | 第36-37页 |
| 4.2.3 USB存储模块 | 第37-38页 |
| 4.2.4 时间模块 | 第38-39页 |
| 4.3 FPGA核心电路 | 第39-46页 |
| 4.3.1 频率测量模块 | 第40-43页 |
| 4.3.2 液晶显示模块 | 第43-44页 |
| 4.3.3 温度测量模块 | 第44-46页 |
| 4.4 软件系统设计 | 第46-50页 |
| 4.4.1 NIOSⅡ简介 | 第47页 |
| 4.4.2 TIO_2纳米湿度传感系统的SOPC设计 | 第47-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 系统测试与结论分析 | 第51-58页 |
| 5.1 TIO_2纳米湿度传感系统平台搭建 | 第51-54页 |
| 5.1.1 温湿度传感探头 | 第52-53页 |
| 5.1.2 TIO_2纳米湿度传感系统的主电路 | 第53-54页 |
| 5.2 系统测试 | 第54-56页 |
| 5.2.1 湿度-频率函数的拟合 | 第54-55页 |
| 5.2.2 TIO_2纳米湿度传感系统的实现 | 第55-56页 |
| 5.3 结果分析 | 第56-57页 |
| 5.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65页 |
