| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 铁电、铁磁、多铁材料概述 | 第10-15页 |
| 1.2.1 铁电材料 | 第10-12页 |
| 1.2.2 铁磁材料 | 第12-13页 |
| 1.2.3 多铁材料 | 第13-15页 |
| 1.3 隧道结种类及其工作原理 | 第15-21页 |
| 1.3.1 磁性隧道结 | 第16-18页 |
| 1.3.2 铁电隧道结 | 第18-20页 |
| 1.3.3 多铁隧道结 | 第20-21页 |
| 1.4 本论文工作内容、目的和意义 | 第21-23页 |
| 第二章 样品薄膜的制备及表征方法 | 第23-36页 |
| 2.1 激光分子束外延技术 | 第23-28页 |
| 2.1.1 激光脉冲沉淀技术(PLD) | 第23-26页 |
| 2.1.2 反射高能电子衍射仪 | 第26-28页 |
| 2.2 扫描探针显微镜 | 第28-30页 |
| 2.2.1 原子力显微镜 | 第28-29页 |
| 2.2.2 压电力显微镜 | 第29-30页 |
| 2.3 隧道结微加工方法 | 第30-34页 |
| 2.3.1 光刻工艺流程简介 | 第30-32页 |
| 2.3.2 离子束刻蚀系统 | 第32-33页 |
| 2.3.3 其他辅助微加工方法 | 第33-34页 |
| 2.4 薄膜结构合磁电性能表征方法 | 第34-36页 |
| 2.4.1 X射线衍射 | 第34页 |
| 2.4.2 磁电性能表征 | 第34-36页 |
| 第三章 隧道结各层薄膜的制备与性能表征 | 第36-57页 |
| 3.1 -TiO_2终结面SrTiO_3衬底处理 | 第36-40页 |
| 3.1.1 钙钛矿氧化物 | 第36-37页 |
| 3.1.2 SrTiO_3概述 | 第37-38页 |
| 3.1.3 -TiO_2终结面SrTiO_3衬底处理 | 第38-40页 |
| 3.2 La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3薄膜的生长和性能表征 | 第40-47页 |
| 3.2.1 La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3 (LSMO)靶材的烧制 | 第40-41页 |
| 3.2.2 La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3在不同氧分压下的生长 | 第41-45页 |
| 3.2.3 La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3在不同衬底温度下的生长 | 第45-47页 |
| 3.3 6单原子层(uc)超薄BaTiO_3铁电薄膜的制备与表征 | 第47-55页 |
| 3.3.1 6单原子层超薄BaTiO_3铁电薄膜的制备 | 第48-49页 |
| 3.3.2 超薄BaTiO_3的XRD表征 | 第49-50页 |
| 3.3.3 超薄BaTiO_3的回线表征 | 第50-51页 |
| 3.3.4 超薄BaTiO_3的写畴测试 | 第51-52页 |
| 3.3.5 超薄BaTiO_3的保持性能测试 | 第52-54页 |
| 3.3.6 BTO铁电层对铁磁层LSMO的影响 | 第54-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 多铁隧道结的制备、加工与测试 | 第57-67页 |
| 4.1 引言 | 第57-59页 |
| 4.2 多铁隧道结的制备与性能表征 | 第59-66页 |
| 4.2.1 多铁隧道结制备方法 | 第59-60页 |
| 4.2.2 NiFe/BaTiO_3/La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3多铁隧道结的制备 | 第60-62页 |
| 4.2.3 NiFe/BaTiO_3/La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3多铁隧道结的表征 | 第62-66页 |
| 4.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 论文总结 | 第67-68页 |
| 5.2 工作展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 附录 个人简历与攻读硕士学位期间发表的论文 | 第76-77页 |
| 个人简历 | 第76-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第77页 |
