| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| 1.1 铁电材料 | 第10-13页 |
| 1.1.1 铁电材料的发展史和研究现状 | 第10-12页 |
| 1.1.2 铁电材料的种类 | 第12-13页 |
| 1.2 铁电薄膜 | 第13-14页 |
| 1.2.1 铁电薄膜的发展历史 | 第13页 |
| 1.2.2 铁电薄膜性能及应用 | 第13-14页 |
| 1.3 多铁性BiFeO_3薄膜 | 第14-19页 |
| 1.3.1 BiFeO_3薄膜的概述 | 第15页 |
| 1.3.2 BiFeO_3薄膜的性质 | 第15-17页 |
| 1.3.3 BiFeO_3薄膜的掺杂改性 | 第17-19页 |
| 1.4 Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜的研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4.1 Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜的概述 | 第19-20页 |
| 1.4.2 Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜的性质及应用 | 第20页 |
| 1.4.3 Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜的掺杂改性 | 第20-21页 |
| 1.5 挠曲电效应对铁电薄膜介电性能的影响 | 第21-22页 |
| 1.6 本文选题依据和主要内容 | 第22-25页 |
| 1.6.1 选题依据 | 第22-23页 |
| 1.6.2 研究思路和主要内容 | 第23-25页 |
| 第2章 薄膜的制备技术及分析测试方法 | 第25-32页 |
| 2.1 铁电薄膜的制备技术 | 第25-28页 |
| 2.1.1 磁控溅射法 | 第25-26页 |
| 2.1.2 脉冲激光沉积法 | 第26页 |
| 2.1.3 溶胶-凝胶法 | 第26-27页 |
| 2.1.4 金属有机物化学气相沉积法 | 第27-28页 |
| 2.2 铁电薄膜的分析测试方法 | 第28-31页 |
| 2.2.1 薄膜微观结构的表征 | 第28-29页 |
| 2.2.2 薄膜电学性能的测试 | 第29-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 BH_xFCO多铁薄膜的制备及表征 | 第32-41页 |
| 3.1 引言 | 第32-33页 |
| 3.2 Sol-Gel法制备BHFCO铁电薄膜 | 第33-35页 |
| 3.2.1 实验所用原材料 | 第33页 |
| 3.2.2 前驱体溶液的配制 | 第33-34页 |
| 3.2.3 衬底的选择与处理 | 第34页 |
| 3.2.4 薄膜制备流程 | 第34-35页 |
| 3.3 BH_xFCO铁电薄膜的表征 | 第35-40页 |
| 3.3.1 BH_xFCO铁电薄膜的XRD分析 | 第35-36页 |
| 3.3.2 BH_xFCO铁电薄膜的SEM分析 | 第36-37页 |
| 3.3.3 BH_xFCO铁电薄膜的铁电性能测试 | 第37-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 NKBT铁电薄膜的制备及表征 | 第41-47页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 Sol-Gel法制备NBT、NKBT薄膜 | 第41-42页 |
| 4.2.1 前驱体溶液的配制 | 第41-42页 |
| 4.2.2 薄膜的制备 | 第42页 |
| 4.3 NBT、NKBT薄膜的性能表征 | 第42-46页 |
| 4.3.1 NBT、NKBT薄膜的XRD分析 | 第43页 |
| 4.3.2 NBT、NKBT薄膜的SEM分析 | 第43-44页 |
| 4.3.3 NBT、NKBT铁电薄膜的电学性能测试 | 第44-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 (1-x)NKBT-x BHFCO铁电薄膜的制备及表征 | 第47-58页 |
| 5.1 引言 | 第47页 |
| 5.2 探究BFO与NBT、KBT的兼容性 | 第47-49页 |
| 5.3 Sol-Gel法制备(1-x)NKBT-x BHFCO薄膜 | 第49-50页 |
| 5.4 (1-x)NKBT-x BHFCO薄膜的表征 | 第50-56页 |
| 5.4.1 (1-x)NKBT-x BHFCO薄膜的XRD分析 | 第50页 |
| 5.4.2 (1-x)NKBT-x BHFCO薄膜的SEM分析 | 第50-51页 |
| 5.4.3 (1-x)NKBT-x BHFCO薄膜的铁电性能 | 第51-52页 |
| 5.4.4 (1-x)NKBT-x BHFCO薄膜的漏电比较 | 第52-53页 |
| 5.4.5 (1-x)NKBT-x BHFCO薄膜的介电性能 | 第53-56页 |
| 5.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 第6章 结论与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 结论 | 第58-59页 |
| 6.2 展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 附录A:个人简历 | 第67-68页 |
| 附录B:攻读硕士学位期间发表论文与参加的会议目录 | 第68页 |
