| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-32页 |
| ·光刻物镜介绍 | 第12-21页 |
| ·应用在光刻物镜上的主动光学&自适应光学 | 第21-29页 |
| ·论文研究任务 | 第29页 |
| ·论文研究内容及章节安排 | 第29-32页 |
| 第2章 理论基础 | 第32-61页 |
| ·弹性理论 | 第32-42页 |
| ·薄板弹性变形的微观力与宏观力 | 第32-36页 |
| ·薄板变形的双调和方程 | 第36-37页 |
| ·Zernike模式变形的三力素 | 第37-39页 |
| ·最小能量模式和模态分解 | 第39-42页 |
| ·有限元分析方法 | 第42-50页 |
| ·自动网格划分 | 第42-43页 |
| ·网格划分误差 | 第43-45页 |
| ·有限元计算误差估计 | 第45-50页 |
| ·Zernike拟合方法 | 第50-61页 |
| ·Zernike多项式基本性质 | 第51-52页 |
| ·Zernike多项式拟合误差 | 第52-54页 |
| ·权值拟合方法 | 第54-61页 |
| 第3章 主动自由曲面实现 | 第61-84页 |
| ·Zernike模式变形的力学条件 | 第61-74页 |
| ·实际促动器的等效力学效果 | 第74-77页 |
| ·实现主动自由曲面的技术选择 | 第77-84页 |
| 第4章 主动自由曲面方案 | 第84-110页 |
| ·边缘促动方案 | 第84-93页 |
| ·方案思路 | 第84-85页 |
| ·设计方案 | 第85-87页 |
| ·促动器分布方式 | 第87-90页 |
| ·性能仿真 | 第90-93页 |
| ·背面促动方案 | 第93-103页 |
| ·背面促动影响函数 | 第93-96页 |
| ·不同促动个数的性能分析 | 第96-99页 |
| ·高纯度实现Z36模式的分布 | 第99-103页 |
| ·改进思路 | 第103-110页 |
| ·径向坐标优化 | 第103-105页 |
| ·混合促动优势 | 第105-107页 |
| ·混合促动方案性能 | 第107-110页 |
| 第5章 投影物镜像差补偿 | 第110-124页 |
| ·投影光刻物镜介绍 | 第110-111页 |
| ·非光瞳处的矩形镜面 | 第111-116页 |
| ·全视场像差评估 | 第116-117页 |
| ·像差补偿 | 第117-124页 |
| 第6章 主动自由曲面实验 | 第124-145页 |
| ·促动器安装工艺 | 第124-128页 |
| ·紧固件 | 第125-126页 |
| ·粘接件 | 第126-128页 |
| ·镜面结构参数的选择范围 | 第128-133页 |
| ·促动器和镜面材料的选型 | 第128-129页 |
| ·镜面口径 | 第129-131页 |
| ·镜面厚度和驱动器间距 | 第131页 |
| ·接触面积 | 第131-133页 |
| ·镜面定位精度 | 第133-138页 |
| ·镜面变形仿真 | 第133-134页 |
| ·镜面定位精度实验 | 第134-136页 |
| ·实验数据处理 | 第136-138页 |
| ·促动器间的耦合特性 | 第138-145页 |
| ·促动器耦合特性来源 | 第139-140页 |
| ·耦合特性仿真 | 第140-141页 |
| ·促动器耦合特性实验 | 第141-145页 |
| 第7章 总结和展望 | 第145-149页 |
| ·研究内容和主要结论 | 第145-146页 |
| ·研究意义和论文创新点 | 第146-147页 |
| ·不足之处和展望 | 第147-149页 |
| 附录A Fringe Zernike与Clebsch-Seidel | 第149-155页 |
| 附录B Zernike模式变形的力学条件 | 第155-163页 |
| 参考文献 | 第163-172页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第172页 |