高精度激光差动共焦大曲率半径测量关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·研究目的和意义 | 第9-11页 |
| ·曲率半径测量技术的研究现状及趋势 | 第11-15页 |
| ·差动共焦曲率半径测量技术 | 第15-18页 |
| ·本课题所研究的主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 差动共焦曲率半径测量原理 | 第19-28页 |
| ·差动共焦系统测量原理 | 第19-23页 |
| ·差动共焦曲率半径测量原理 | 第23-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 高精度差动共焦曲率半径测量光路设计 | 第28-41页 |
| ·测量系统的总体设计指标与构成 | 第28-29页 |
| ·差动共焦测量系统的光路设计 | 第29-36页 |
| ·点光源发生装置 | 第30页 |
| ·主要光学元件的设计 | 第30-35页 |
| ·系统分光光路设计 | 第35-36页 |
| ·系统光路搭建 | 第36-37页 |
| ·测量过程仿真 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 差动共焦曲率半径测量系统结构设计 | 第41-48页 |
| ·激光差动共焦大曲率半径测量系统系统总体结构 | 第41-43页 |
| ·激光差动共焦定焦系统结构设计 | 第43-46页 |
| ·系统分光光路的结构 | 第44-45页 |
| ·系统光电探测系统的光路结构 | 第45-46页 |
| ·反射折转光路设计 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 实验验证 | 第48-55页 |
| ·实验装置 | 第48页 |
| ·实验验证 | 第48-51页 |
| ·误差分析 | 第51-54页 |
| ·干涉仪的测长误差 | 第51页 |
| ·定焦误差 | 第51-52页 |
| ·各轴线不重合引起的误差 | 第52-53页 |
| ·被测镜的面形误差 | 第53页 |
| ·误差合成 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
